技术编号：14862281
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及要求低反射率这样的特性的、例如：平面显示元件用电极膜或布线膜中所使用的由导电膜和中间膜构成的层叠布线膜及其制造方法以及用于形成上述中间膜的Mo合金溅射靶材。背景技术在透明的玻璃基板等上形成薄膜设备的液晶显示器(以下称“LCD”。)、等离子体显示板(以下称“PDP”。)、电子纸等所利用的电泳型显示器等平面显示装置(平板显示器，以下称“FPD”。)随着大画面、高清晰、快速响应化，要求该布线膜低电阻值(以下称“低电阻”)。并且，近年开发了对FPD增加操作性的触摸面板，或者使用透明的树脂基板、...
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