技术编号:14901625
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种涂布方法及其涂布系统,且是涉及一种非牛顿流体的涂布方法及其涂布系统。背景技术以湿式涂布制作工艺制作功能性薄膜产品为一高效率、速度快的技术。湿式涂布制作工艺相对于如PVD(Physical Vapor Deposition;PVD)及CVD(Chemical Vapor Deposition;CVD)等干式制作工艺,在成本及产率有极大竞争力,可应用于光刻制作工艺的光致抗蚀剂、染料颜料分散法制作彩色滤光片、液晶显示器配向膜以及集成电路的有机低介电层等制作工艺中。昔日涂布材料多属于低黏度...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。