技术编号:14921837
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及蚀刻技术领域,尤其是涉及一种高效的蚀刻设备。背景技术现有的蚀刻机上设有一喷嘴,以便将化学药液喷到需要蚀刻的物料上,从而达到对物料的蚀刻,然后再对物料喷水,以便将其清洗干净。然而,该种方式往往会将喷过后的化学药液与水混合在一起,影响对化学药液的回收,造成资源的浪费。因此,有必要提供一种新的技术方案以克服上述缺陷。实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种可有效解决上述技术问题的高效的蚀刻设备。为达到本实用新型之目的,采用如下技术方案:一种高效的蚀刻设备,包括底板、位于所述底板上方的喷药...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。