技术编号：1494159
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种流体喷射装置，尤其涉及一种可应用于基板处理装置中将液体(DIW)和气体(CDA)的混合流体喷射到基板上而对基板进行清洗，且容 易制作，并可以提高流体喷射效率的流体喷射装置。背景技术通常，流体喷射装置可应用于为清洗基板而对基板喷射混合流体的过程。 这种流体喷射装置中，形成有气体腔室的第一垫板和形成有液体腔室的第二 垫板相重叠并藉由连接部件相互结合。并且，第一垫板和第二垫板之间形成 有用于喷射供给到气体腔室的气体(CDA，清洁用干燥气体)的喷射管...
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