技术编号：14949178
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于高温热流传感器领域，更具体地，涉及一种薄膜型超高温热流传感器敏感元及其制备方法。背景技术热流传感器可用于传导热流、热流分布、流体输送热流等热传递过程的测量，其中对热流分布的测量对科学研究、航空航天以及动力工程中环境参数的监控有着重大意义。随着热流检测的理论和技术越来越受到重视，测量热流用的传感器——热流传感器的研究和使用也越来越广泛。虽然热流传感器已经得到广泛的应用，但是在高温领域，热流传感器的实际性能存在一些不足，如耐受温度普遍低于800℃，在航空航天、核能、冶金等存在高温环境的领域...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。