技术编号：14964556
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及半导体晶圆制造领域，尤其涉及晶圆传送探测传感装置。背景技术半导体集成电路制造领域是国家近年来大力发展的行业，是国家未来经济支柱产业。半导体生产设备一般拥有一个传输腔和多个反应腔，晶圆生产经过多个步骤，需要在反应腔之间进行多次传送，如何探测判断晶圆在传送过程中是否到达指定位置尤为重要。本实用新型将设计一款晶圆探测传感装置，检测晶圆是否到达指定传送位置。发明内容为实现上述目的，本实用新型所提供的技术方案是：晶圆传送探测传感装置，包括固定圆盘、透光圆盘、传感器支架和传感器。所述的传感器与...
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