技术编号:14965563
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于等离子清洗设备领域,特别涉及一种真空等离子设备腔体。背景技术传统的等离子真空处理设备基本上是针对材料设计成水平多层结构或者竖直多层放置的板材,而有少部分电子行业以外的市场,需要处理的产品是长方体的或正方体的,以及镂空盒装薄和小的产品,这样就没有适合的腔体结构来对应了。因此,研究一种适用于方形材料或盒装零件表面处理的真空等离子设备腔体显得尤为重要。实用新型内容有鉴于此,为了解决上述问题,本实用新型提供研究一种适用于方形材料或盒装零件表面处理的真空等离子设备腔体。为达到上述目的,本实用...
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