技术编号:14974052
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及打磨装置,尤其涉及一种氮化硼坩埚打磨装置。背景技术本实用新型对于背景技术的描述属于与本实用新型相关的相关技术,仅仅是用于说明和便于理解本实用新型的发明内容,不应理解为申请人明确认为或推定申请人认为是本实用新型在首次提出申请的申请日的现有技术。热解氮化硼坩埚是利用化学气相沉积法,使气体在模具表面沉积,再经过脱模、精加工得来。其制造的主要过程是将与氮化硼坩埚外形相同的模具置于化学气相沉积室内,在加热高温条件下,以氮气为稀释保护气体,将含有氮氢化合物的气体,卤素化合物气体通入炉内,一边进...
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