技术编号:1498774
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及。 背景技术目前,太阳能硅片的清洗方法是在晶棒切成片并经脱胶后,先用纯水漂洗,接着用纯水超声清洗,然后又在纯水中加入清洗剂进行超声波清洗,之后再经多次纯水超声波漂 洗即完成清洗工艺。这种清洗方法不彻底,导致太阳能硅片表面的化学物、金属杂质、酸碱 残留等过多,会使太阳能硅片制绒时出现白斑,产生色差现象,影响成品率及产品质量。发明内容本发明的目的是提供能提高太阳能硅片表面清洁度的一种太阳能硅片的表面清 洗方法。本发明采取的技术方案是,其特征在于在晶棒...
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