技术编号:14989582
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及多晶硅片生产加工技术领域,尤其涉及一种多晶硅片用贴合夹具。背景技术随着现代科技的不断发展,使得在一些装置上常常会用到太阳能多晶硅片,由于多晶硅片能够在极小的面积上集成数千万的晶体管,特别是在现在的微电子技术领域,航空航天、工业、农业以及商业上也被广泛应用。对于现在生产太阳能多晶硅片的方法中,常常需要对多晶硅片进行转移,然后再进一步加工,但是现有的转移多晶硅片的夹具过于粗糙,仅仅是通过机械的夹持件进行夹持转移,这样会对多晶硅片的内部结构造成一定的损坏,或者通过吸盘对硅片的表面进行吸附...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。