一种多晶硅片用贴合夹具的制作方法

文档序号:14989582发布日期:2018-07-20 21:56阅读:257来源:国知局

本实用新型涉及多晶硅片生产加工技术领域,尤其涉及一种多晶硅片用贴合夹具。



背景技术:

随着现代科技的不断发展,使得在一些装置上常常会用到太阳能多晶硅片,由于多晶硅片能够在极小的面积上集成数千万的晶体管,特别是在现在的微电子技术领域,航空航天、工业、农业以及商业上也被广泛应用。对于现在生产太阳能多晶硅片的方法中,常常需要对多晶硅片进行转移,然后再进一步加工,但是现有的转移多晶硅片的夹具过于粗糙,仅仅是通过机械的夹持件进行夹持转移,这样会对多晶硅片的内部结构造成一定的损坏,或者通过吸盘对硅片的表面进行吸附,但是容易造成表面划痕,影响加工质量,且效率低下,增加了生产成本,对企业的经营造成一定的影响。



技术实现要素:

为了解决上述背景技术中提到的问题,本实用新型提供一种多晶硅片用贴合夹具。

为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:

一种多晶硅片用贴合夹具,包括固定架,所述固定架的上端中心处固定连接有支架,所述固定架内通过活动腔设有第一直齿轮,且第一直齿轮的外壁一侧啮合连接有第二直齿轮,所述第二直齿轮的一侧设有转轴,且转轴穿过支架的内壁向外延伸端设有驱动电机,驱动电机固定与固定架的上端一侧,所述第一直齿轮内对称插接有正向丝杆和反向丝杆,所述正向丝杆和反向丝杆的外壁均螺纹连接有活动块,且活动块的外壁两侧对称固定连接有限位杆,固定架的内壁设有与限位杆对应的第一限位槽,所述活动块的底部固定连接有连接板,且连接板的外壁一侧通过卡槽水平插接有伸缩杆,所述伸缩杆远离连接板的一端固定连接有夹紧板,且夹紧板的外壁一侧均匀设有若干个夹紧槽,所述夹紧板与连接板之间连接有两个对称的弹簧。

优选地,所述伸缩杆位于卡槽内的外壁两侧对称设有限位块,且卡槽的内壁设有与限位块对应的第二限位槽。

优选地,所述夹紧板的外壁一侧均匀设有5-10个夹紧槽,且每个夹紧槽的内壁均为弧形结构。

优选地,所述夹紧板外壁下端的一侧固定连接有尖刺板,且尖刺板的厚度自夹紧板处向外逐渐减小。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:通过外置控制开关启动驱动电机,使得第二直齿轮带动第一直齿轮旋转,从而使得两侧的正向丝杆和反向丝杆转动,进而实现两个活动块同时向内侧或外侧水平移动,且通过限位杆在第一限位槽内滑动,使得活动块水平移动更加平稳,伸缩杆远离连接板的一端固定连接有夹紧板,且夹紧板的外壁一侧均匀设置有5-10个夹紧槽,能够同时夹持多个多晶硅片,提高工作效率,且每个夹紧槽的内壁均为弧形结构,而每个夹紧槽的弧形面均设置有一层橡胶垫,能够避免对多晶硅片造成损伤,且在夹持过程中通过伸缩杆和弹簧的作用,具有一定的缓冲效果,且保持夹持力恒定在一定的范围内,有效保护多晶硅片。本实用新型结构简单,易操作,能够同时夹持多个多晶硅片,且有效避免多晶硅片的损坏,提高了生产效率和质量。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图;

图2为本实用新型A-A结构剖面示意图。

图中:固定架1、支架2、第一直齿轮3、正向丝杆4、反向丝杆5、第二直齿轮6、驱动电机7、活动块8、连接板9、伸缩杆10、卡槽11、限位块12、夹紧板13、夹紧槽14、尖刺板15、限位杆16、弹簧17。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。

参照图1-2,一种多晶硅片用贴合夹具,包括固定架1,固定架1的上端中心处固定连接有支架2,固定架1内通过活动腔设有第一直齿轮3,且第一直齿轮3的外壁一侧啮合连接有第二直齿轮6,第二直齿轮6的一侧设有转轴,且转轴穿过支架2的内壁向外延伸端设有驱动电机7,驱动电机7固定与固定架1的上端一侧,第一直齿轮3内对称插接有正向丝杆4和反向丝杆5,正向丝杆4和反向丝杆5的外壁均螺纹连接有活动块8,且活动块8的外壁两侧对称固定连接有限位杆16,固定架1的内壁设有与限位杆16对应的第一限位槽,活动块8的底部固定连接有连接板9,且连接板9的外壁一侧通过卡槽11水平插接有伸缩杆10,伸缩杆10远离连接板9的一端固定连接有夹紧板13,且夹紧板13的外壁一侧均匀设有若干个夹紧槽14,夹紧板13与连接板9之间连接有两个对称的弹簧17,驱动电机7通过外置控制开关电性连接市电。

具体的,伸缩杆10位于卡槽11内的外壁两侧对称设有限位块12,且卡槽11的内壁设有与限位块12对应的第二限位槽,通过限位块12起到一定的限位作用,且限位块12在第二限位槽内滑动,具有一定的缓冲效果。

具体的,夹紧板13的外壁一侧均匀设有5-10个夹紧槽14,能够同时夹持多个多晶硅片,提高工作效率,且每个夹紧槽14的内壁均为弧形结构,而每个夹紧槽14的弧形面均设有一层橡胶垫,能够避免对多晶硅片造成损伤。

具体的,夹紧板13外壁下端的一侧固定连接有尖刺板15,且尖刺板15的厚度自夹紧板13处向外逐渐减小,对多晶硅片起到一定的保护作用,且夹持的稳定性更好。

工作原理:本实用新型中,固定架1内通过活动腔设置有第一直齿轮3,且第一直齿轮3的外壁一侧啮合连接有第二直齿轮6,而第二直齿轮6的一侧通过转轴连接有驱动电机7,通过外置控制开关启动驱动电机7,使得第二直齿轮6带动第一直齿轮3旋转,从而使得两侧的正向丝杆4和反向丝杆5转动,进而实现两个活动块8同时向内侧或外侧水平移动,由于活动块8的外壁两侧对称固定连接有限位杆16,固定架1的内壁设置有与限位杆16对应的第一限位槽,通过限位杆16在第一限位槽内滑动,使得活动块8水平移动更加平稳,同时在活动块8的底部固定连接有连接板9,且连接板9的外壁一侧通过卡槽11水平插接有伸缩杆10,伸缩杆10远离连接板9的一端固定连接有夹紧板13,且夹紧板13的外壁一侧均匀设置有5-10个夹紧槽14,能够同时夹持多个多晶硅片,提高工作效率,且每个夹紧槽14的内壁均为弧形结构,而每个夹紧槽14的弧形面均设置有一层橡胶垫,能够避免对多晶硅片造成损伤,且在夹持过程中通过伸缩杆10和弹簧17的作用,具有一定的缓冲效果,且保持夹持力恒定在一定的范围内,有效保护多晶硅片。

以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

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