技术总结
本实用新型公开了一种多晶硅片用贴合夹具，包括固定架，所述固定架的上端中心处固定连接有支架，所述固定架内通过活动腔设有第一直齿轮，且第一直齿轮的外壁一侧啮合连接有第二直齿轮，所述第二直齿轮的一侧设有转轴，所述第一直齿轮内对称插接有正向丝杆和反向丝杆，所述正向丝杆和反向丝杆的外壁均螺纹连接有活动块，所述活动块的底部固定连接有连接板，且连接板的外壁一侧通过卡槽水平插接有伸缩杆，所述伸缩杆远离连接板的一端固定连接有夹紧板，且夹紧板的外壁一侧均匀设有若干个夹紧槽。本实用新型结构简单，易操作，能够同时夹持多个多晶硅片，且有效避免多晶硅片的损坏，提高了生产效率和质量。
技术研发人员：陈跃骅
受保护的技术使用者：浙江旭盛电子有限公司
技术研发日：2017.06.29
技术公布日：2018.07.20