一种多晶硅片用贴合夹具的制作方法

文档序号:14989582发布日期:2018-07-20 21:56阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种多晶硅片用贴合夹具,包括固定架(1),其特征在于:所述固定架(1)的上端中心处固定连接有支架(2),所述固定架(1)内通过活动腔设有第一直齿轮(3),且第一直齿轮(3)的外壁一侧啮合连接有第二直齿轮(6),所述第二直齿轮(6)的一侧设有转轴,且转轴穿过支架(2)的内壁向外延伸端设有驱动电机(7),驱动电机(7)固定于固定架(1)的上端一侧,所述第一直齿轮(3)内对称插接有正向丝杆(4)和反向丝杆(5),所述正向丝杆(4)和反向丝杆(5)的外壁均螺纹连接有活动块(8),且活动块(8)的外壁两侧对称固定连接有限位杆(16),固定架(1)的内壁设有与限位杆(16)对应的第一限位槽,所述活动块(8)的底部固定连接有连接板(9),且连接板(9)的外壁一侧通过卡槽(11)水平插接有伸缩杆(10),所述伸缩杆(10)远离连接板(9)的一端固定连接有夹紧板(13),且夹紧板(13)的外壁一侧均匀设有若干个夹紧槽(14),所述夹紧板(13)与连接板(9)之间连接有两个对称的弹簧(17)。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅片用贴合夹具,其特征在于:所述伸缩杆(10)位于卡槽(11)内的外壁两侧对称设有限位块(12),且卡槽(11)的内壁设有与限位块(12)对应的第二限位槽。

3.根据权利要求1所述的一种多晶硅片用贴合夹具,其特征在于:所述夹紧板(13)的外壁一侧均匀设有5-10个夹紧槽(14),且每个夹紧槽(14)的内壁均为弧形结构。

4.根据权利要求1所述的一种多晶硅片用贴合夹具,其特征在于:所述夹紧板(13)外壁下端的一侧固定连接有尖刺板(15),且尖刺板(15)的厚度自夹紧板(13)处向外逐渐减小。

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