本实用新型属于工装技术领域，尤其是涉及一种硅片装载装置。
背景技术：
随着半导体行业的迅速发展，半导体硅片产能日趋扩大，需求一种大量装载硅片的装置用于生产以及转运。在硅片生产时会涉及到多种作业区域，大致分为洁净区域(例如万级洁净、千级洁净等)、灰区、金属区域等。由于生产工艺不同，需要大容量工装才能够满足生产需求。譬如，加热炉内热处理以及硅片的转运等，在保证安全、满足工艺要求、简单方便操作的情况下，硅片越能够大量盛放，方便运输，越能够提高生产效率。
目前，在各工序中存在空间利用率低的问题。当前使用情况，在生产区域硅片的加工生产，均使用小的硅舟，容量小，硅片的生产、转运主要靠操作人员手工投入、搬运。
这种操作方法存在以下一些缺点：
1、人工作业失误率高，易碎片，入舟深度无法精准掌握；
2、需配备专人进行操作，只有经历时间的积累工作效率才能够提升；
3、在生产过程中，硅舟在各扩散炉中进行加热，进出舟都是人为的，一方面人员易受伤，另一方面把控时间有出入；
现有的硅片装载装置，产能小，恒温区出入炉人为失误及安全存在隐患和对操作员熟练度的需求，为了与已设计开发全自动设备实现自动出入炉技术，因此需设计生产出适合于自动化设备的硅片装载装置。
技术实现要素：
本实用新型要解决的问题是产能小，恒温区出入炉人为失误及安全存在隐患和对操作员熟练度的需求高等问题，提供一种硅片装载装置，与自动化设备配合。
为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种硅片装载装置，包括槽棒、第一吊装板和第二吊装板，所述第一吊装板和所述第二吊装板分别设置在所述槽棒的两侧，所述槽棒上设置片槽，所述片槽结构为下部具有固定槽的V形槽，所述固定槽的底部为平面，所述第一吊装板和所述第二吊装板的外表面均设置一对凸块，每个所述凸块上设置均吊钩状吊装口。
进一步地，所述第一吊装板和所述第二吊装板的底部均设置凹槽。
进一步地，所述槽棒设置为三根，三根所述槽棒的端面呈等腰三角形分布。
进一步地，所述固定槽为U形、矩形或梯形结构。
进一步地，所述固定槽的张开角度小于所述V形槽的张开角度。
进一步地，所述V形槽的张开角度为63°。
进一步地，所述槽棒、所述底板、所述第一吊装板与所述第二吊装板均采用石英材质。
本实用新型具有的优点和积极效果是：
1.硅片装载装置与全自动设备相配合，实现出入炉时自动化操作，操作人员只需将硅片装载装置按方向固定在指定位置，按下设备按钮，自动化程序启动即可，硅片会自动放置在此硅片装载装置上，无需操作员搬运，自动化程度高，提高生产效率；
2.第一吊装板和所述第二吊装板的底部均设置凹槽，能够平稳放置在桨上，更加稳定，采用3根具有片槽的槽棒连接两侧的吊装板，同时吊装板上设置有两对吊钩状吊装口，可挂载在机械臂横梁上，能够保证吊装时硅片装载装置的稳定性以及设备放置硅片装载装置时的便捷性，整个吊装过程安全可靠；
3.片槽结构为具有固定槽的V形槽，U形、矩形或梯形固定槽与V形槽结合的形式，确保硅片能够顺利的插入片槽内，降低放片所需精准度且不易倒片，底部设置为平面结构，上部设置V形，硅片不会左右摇摆，避免硅片损伤及无法插片的问题，同时减少碎片率；
4.采用石英为材质，石英材质具有良好的耐高温性，受热膨胀系数小、耐氧化性、可反复使用等特殊性能，可保证长时间在扩散炉中加热安全性。
附图说明
图1是本实用新型的俯视结构示意图；
图2是图1中A-A剖视结构示意图；
图3是图2中的F-F剖视结构示意图；
图4是本实用新型的槽结构放大图。
图中：
1、第一吊装板 2、槽棒 3、片槽
4、凸块 5、吊装口 6、第二吊装板
7、凹槽 31、V形槽 32、固定槽
具体实施方式
如图1-3所示，本实例一种硅片装载装置，包括槽棒2、第一吊装板1 和第二吊装板6，第一吊装板1和第二吊装板6分别设置在槽棒2的两侧，槽棒设置为三根，三根所述槽棒的端面呈等腰三角形分布，槽棒2上设置片槽3，如图4所示，片槽3结构为U形槽32与V形槽31相结合，片槽3结构为下部具有固定槽32的V形槽31，固定槽32的底部为平面，固定槽32 为U形、矩形或梯形固定槽及类似结构，固定槽32的张开角度小于V形槽 31的张开角度，V形槽31的张开角度可以根据实际需要设置，在本实例中，优选地，V形槽31的张开角度为63°确保硅片能够顺利的插入片槽3内，降低放片所需精准度且不易倒片，本实例中底部设置U形，上部设置V形，硅片不会左右摇摆，避免硅片损伤及无法插片的问题，同时较少碎片率，第一吊装板1和第二吊装板6的外表面均设置两个凸块4，两个凸块4平行设置，每个凸块4上设置均吊钩状吊装口5。
第一吊装板1和第二吊装板6的内表面通过槽棒固定连接，第一吊装板 1和第二吊装板6的底部设有凹槽7，能够平稳放置在桨上，更加稳定，由槽两侧吊装板支架脚的尺寸结构，可确定桨从凹槽下抽出将此装置直接放置在炉管上，或桨与此装载装置一起待在炉管内直至生产工艺结束，采用3根具有片槽的槽棒2连接两侧的吊装板1和吊装板8，同时每个吊装板上均设置有两对吊钩状吊装口，可挂载在机械臂横梁上，利用机械臂穿插吸片，能够保证吊装时硅片装载装置的稳定性以及设备放置硅片装载装置时的便捷性，整个吊装过程安全可靠，槽棒2、第一吊装板1与第二吊装板6均采用石英材质，采用石英为材质，具有良好的耐高温性，受热膨胀系数小、耐氧化性、可反复使用等特殊性能，可保证长时间在扩散炉中加热安全性，硅片装载装置可摆放5寸圆形硅片，可挂载在机械臂横梁上，片槽可同时放置200 片圆形硅片。
本实例的工作过程：硅片装载装置与全自动设备相配合，实现出入炉时自动化操作，操作人员只需将硅片装载装置按方向固定在指定位置，按下设备按钮，自动化程序启动即可，通过机械手的作用5寸圆形硅片会自动放置在此硅片装载装置上，无需操作员搬运，自动化程度高，提高生产效率。
本实用新型的有益效果是：
1.硅片装载装置与全自动设备相配合，实现出入炉时自动化操作，操作人员只需将硅片装载装置按方向固定在指定位置，按下设备按钮，自动化程序启动即可，硅片会自动放置在此硅片装载装置上，无需操作员搬运，自动化程度高，提高生产效率；
2.第一吊装板和所述第二吊装板的底部均设置凹槽，能够平稳放置在桨上，更加稳定，采用3根具有片槽的槽棒连接两侧的吊装板，同时吊装板上设置有两对吊钩状吊装口，可挂载在机械臂横梁上，能够保证吊装时硅片装载装置的稳定性以及设备放置硅片装载装置时的便捷性，整个吊装过程安全可靠；
3.片槽结构为具有固定槽的V形槽，U形、矩形或梯形固定槽与V形槽结合的形式，确保硅片能够顺利的插入片槽内，降低放片所需精准度且不易倒片，底部设置为平面结构，上部设置V形，硅片向一侧方向倾斜角度不是太大，避免硅片损伤及无法插片的问题，同时较少碎片率；
4.采用石英为材质，具有良好的耐高温性，受热膨胀系数小、耐氧化性、可反复使用等特殊性能，可保证长时间在扩散炉中加热安全性。
以上对本实用新型的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。