肖特基二极管、肖特基二极管阵列及肖特基二极管的制备方法与流程技术资料下载

技术编号:15024532

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本发明涉及一种肖特基二极管、一肖特基二极管阵列及肖特基二极管的制备方法。背景技术肖特基二极管是利用金属与半导体接触形成的金属-半导体结原理制作的一种二极管。肖特基二极管比PN结二极管具有更低的功耗、更大的电流以及超高速的优点,因此,在电子学器件中受到青睐。对于低维纳米电子材料,和传统的硅材料不同,难以通过掺杂的办法制备二极管。目前的纳米半导体材料二极管主要通过化学掺杂或异质结的方法制备,其制备工艺复杂,一定程度上限定了二极管的应用。发明内容有鉴于此,确有必要提供一种肖特基二极管,该肖特基二极管可...
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