技术编号:15048812
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。将于2017年1月17日在韩国知识产权局提交的标题为“半导体装置及其制造方法”的韩国专利申请No.10-2017-0008216以引用方式全文并入本文中。技术领域实施例涉及半导体装置及其制造方法,更具体地说,涉及包括场效应晶体管的半导体装置及其制造方法。背景技术半导体装置由于其小尺寸、多功能特征和/或低制造成本而广泛用于电子工业中。可将半导体装置归类为存储逻辑数据的半导体存储器装置、处理逻辑数据的半导体逻辑装置和同时具有半导体存储器装置的功能和半导体逻辑装置的功能的混合半导体装置中的任一种。随着...
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