制备多孔性材料的方法与流程技术资料下载

技术编号:15078663

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本发明是关于一种制备多孔性材料的方法,其特征在于,将半导体制程中化学机械研磨所产生的污泥转化成多孔性材料。背景技术轻质骨材最早源自公元1908年,美国利用膨胀性黏土及页岩,经过旋窑于高温下烧制获得。而烧制轻质骨材的原料选择上,有天然的原料如珍珠岩、松脂岩、页岩、板岩及蛭石等,但因天然原料的获得需进行矿物开采,对于环境的破坏较大且此类矿物匮乏的国家亦不容易发展轻质骨材。于1970年代开始,轻质骨材的原料发展有选用工业废弃物,如膨胀矿渣、煤矸石陶粒、粉煤灰、下水道污泥、工业污泥以及飞灰等;在台湾直至...
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