背钝化太阳能电池的激光开槽结构的制作方法技术资料下载

技术编号:15173370

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本实用新型属于太阳能电池制造的技术领域,涉及太阳能电池片的结构,具体是一种背钝化太阳能电池的激光开槽结构。背景技术由于Al2O3薄膜与SiN薄膜均为绝缘层无法导电,因此需要通过激光将背面膜层划开使硅基体露出,在完成背电场印刷烧结后使得硅基体能够和铝背场形成良好的欧姆接触,这样使得激光开槽结构对氧化铝的钝化效果有着重要的影响,激光开槽面积大会使氧化铝的钝化效果降低,导致少子寿命降低;开槽面积小则导致金属与硅的欧姆接触变差,从而影响到导电性能。这就要求设计背面开槽结构时要考虑尽可能的降低开槽面积,提...
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