技术编号:1519626
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。抛光盘清洗装置本实用新型涉及一种清洗装置,特别是涉及一种抛光盘清洗装置。背景技术在半导体制造领域里,为了使半导体材料表面达到符合要求的平面度和粗糙度,需要对半导体材料进行抛光。抛光完成后,需要对用过的抛光盘进行清洗。一般常用的方法是将抛光盘放在水槽里直接用水管进行清洗。这样清洗起来比较麻烦,且耗费时间较长。实用新型内容本实用新型主要解决的技术问题是提供一种抛光盘清洗装置,能够更快、更简单的清洗抛光盘。为解决上述技术问题,本实用新型提供一种抛光盘清洗装置,包...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。