专利名称：抛光盘清洗装置的制作方法
技术领域：
抛光盘清洗装置
技术领域：
本实用新型涉及一种清洗装置，特别是涉及一种抛光盘清洗装置。背景技术：
在半导体制造领域里，为了使半导体材料表面达到符合要求的平面度和粗糙度，需要对半导体材料进行抛光。抛光完成后，需要对用过的抛光盘进行清洗。一般常用的方法是将抛光盘放在水槽里直接用水管进行清洗。这样清洗起来比较麻烦，且耗费时间较长。
实用新型内容本实用新型主要解决的技术问题是提供一种抛光盘清洗装置，能够更快、更简单的清洗抛光盘。为解决上述技术问题，本实用新型提供一种抛光盘清洗装置，包括顶板、顶板支座及底座，所述顶板固定于所述顶板支座上，所述顶板支座与所述底座转动连接。在优选的实施例中，所述抛光盘清洗装置还包括一轴承，所述顶板支座与所述底座通过所述轴承转动连接。在优选的实施例中，所述抛光盘清洗装置还包括一水槽与一底板，所述底板固定于所述水槽底部，所述底座通过所述底板固定于所述水槽内。在优选的实施例中，所述抛光盘清洗装置还包括一给水装置，所述给水装置用于喷水至所述顶板上。本实用新型的抛光盘清洗装置具有一可旋转的顶板，当抛光盘放置于顶板上时，可以边旋转边进行清洗，这样清洗起来方便、省时。
图1为一实施例中抛光盘清洗装置的剖视图；图2为图1所示抛光盘清洗装置的顶板示意图；图3为图2所示顶板的剖面图；图4为图1所示抛光盘清洗装置的顶板支座示意图；图5为图4所示顶板支座的剖面图；图6为图1所示抛光盘清洗装置的底座示意图；图7为图6所示底座的剖面图；图8为图1所示抛光盘清洗装置的底板示意图；图9为图8所示底板的剖面图。附图中各部件的标记如下抛光盘清洗装置100，顶板110，顶板支座120，底座130，底板140，轴承150，水槽160，顶板安装孔111，支座安装孔121，支座安装面122，支座侧壁123，底座安装孔131，底座安装面132，支撑柱133，圆台134，底板安装孔141。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。请参考图1。本实用新型提供一种抛光盘清洗装置100，包括顶板110、顶板支座120及底座130，顶板110固定于顶板支座120上，顶板支座120可旋转的固定于底座130上。顶板110上设置有多个顶板安装孔111，顶板支座120上与顶板110上安装孔111对应的位置设有多个支座安装孔121，采用螺纹紧固件将顶板110与顶板支座120通过顶板安装孔111与支座安装孔121固定在一起。顶板支座120与底座130之间可用轴承150进行连接，这样顶板支座120就可以相对于底座130进行旋转。在本实施例中，轴承150采用型号为6205的轴承。由于顶板110固定于顶板支座120上，顶板110就可以和顶板支座120 —起做圆周运动。顶板110上方可设置一给水装置(图中未绘示)，例如一水龙头，当需要清洗的抛光盘放置与顶板110上时，打开水龙头，水会喷洒在抛光盘上，然后旋转顶板110，就可以边旋转边清洗抛光盘。请同时参考图2与3，抛光盘清洗装置100的顶板110为圆盘形，在顶板110上环绕顶板110中心对称设置多个顶板安装孔111，此处顶板安装孔111为四个。请同时参考图4与5，抛光盘清洗装置100的顶板支座120包括圆盘形的支座安装面122与支座侧壁123。支座安装面122上环绕支座安装面122中心对称设置多个支座安装孔121，支座安装孔121与顶板安装孔111用于固定顶板110与顶板支座120。支座侧壁123形成一个具有台阶的腔体来容置轴承150。其中，为了增加顶板支座120的机械强度，顶板支座120采用不锈钢制作而成。请同时参考图6与7，抛光盘清洗装置100的底座130包括底座安装面132与支撑柱133。底座安装面132上设有多个底座安装孔131，支撑柱133为圆柱形，其远离安装面132的一端设有圆台134，圆台134用于固定轴承150。其中，为了增加底座130的机械强度，底座130也采用不锈钢制作而成。请同时参考图8与9，抛光盘清洗装置100的底板140为圆盘形，在底板140上环绕底板140中心对称设置多个底板安装孔141，底板安装孔141与底座安装孔131用来固定底座130与底板140。其中，底板140采用PVC(聚氯乙烯)塑料制作而成。在本实用新型一实施例中，抛光盘清洗装置100还包括一个水槽160。水槽160具有一排水口 161，水槽160底部具有一底板140。底板140可采用焊接的方式固定于水槽160底部。底板140上设有多个底板安装孔141，抛光盘清洗装置100的底座130上对应底板安装孔141的位置设有多个底座安装孔131，底板140与底座130通过底板安装孔141与底座安装孔131固定在一起。清洗时，打开水龙头，然后边旋转顶板110边清洗抛光盘。清洗的废水可以从水槽160的排水口 161排出。本实用新型的抛光盘清洗装置通过在顶板支座与底座之间安装旋转装置来使顶板能够旋转，从而实现边旋转边清洗抛光盘的效果，所述抛光盘清洗装置清洗速度快，且结构简单，使用方便。以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
权利要求1.一种抛光盘清洗装置，其特征在于，包括顶板、顶板支座及底座，所述顶板固定于所述顶板支座上，所述顶板支座与所述底座转动连接。
2.根据权利要求1所述的抛光盘清洗装置，其特征在于，所述抛光盘清洗装置还包括一轴承，所述顶板支座与所述底座通过所述轴承转动连接。
3.根据权利要求1所述的抛光盘清洗装置，其特征在于，所述抛光盘清洗装置还包括一水槽与一底板，所述底板固定于所述水槽底部，所述底座通过所述底板固定于所述水槽内。
4.根据权利要求1所述的抛光盘清洗装置，其特征在于，所述抛光盘清洗装置还包括一给水装置，所述给水装置用于喷水至所述顶板上。
专利摘要一种抛光盘清洗装置包括顶板、顶板支座及底座，顶板固定于顶板支座上，顶板支座与底座转动连接。由于顶板支座可相对于底座旋转，因此抛光盘清洗装置可实现边旋转边清洗抛光盘的效果，所述抛光盘清洗装置具有清洗速度快，结构简单，使用方便的优点。
文档编号B08B1/04GK202290627SQ20112038045
公开日2012年7月4日 申请日期2011年10月9日 优先权日2011年10月9日
发明者王友旺, 裴新 申请人:深圳深爱半导体股份有限公司