技术编号：1519891
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。防治油雾或微粒的引导装置[0001]本实用新型涉及一种防治油雾或微粒的引导装置，其提供一种能够集中高速移动所产生的油雾或微粒，并使其无法产生近似压缩的效果，即疏缓活塞效应，而使油雾或微粒无法被压缩而四溢，进而避免污损被加工物的装置。背景技术[0002]随着科技的进步，各类自动化的机械机台被广泛地应用于工业生产制程中，特别是高科技产业中的半导体制程。[0003]上述的机械机台中设有至少一能够高速移动的取放装置，亦可为移动装置，为了便于论述，以下是以取放装置说...
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