专利名称：防治油雾或微粒的引导装置的制作方法
技术领域：
防治油雾或微粒的引导装置技术领域[0001]本实用新型涉及一种防治油雾或微粒的引导装置，其提供一种能够集中高速移动所产生的油雾或微粒，并使其无法产生近似压缩的效果，即疏缓活塞效应，而使油雾或微粒无法被压缩而四溢，进而避免污损被加工物的装置。
背景技术：
[0002]随着科技的进步，各类自动化的机械机台被广泛地应用于工业生产制程中，特别是高科技产业中的半导体制程。[0003]上述的机械机台中设有至少一能够高速移动的取放装置，亦可为移动装置，为了便于论述，以下是以取放装置说明，取放装置以高速驱动与其连接的装置，如吸取机构、机械手臂、机械爪或加工机组。[0004]请参阅图7所示，以晶粒捡选机为例，于一机台3装设有一高速的取放装置30，以快速的将晶粒32自晶圆31中将晶粒32取出并置放于匣盘33上。[0005]为了可使上述的取放装置30正常运作，故会于取放装置30的运动路径或取放装置30内部设有或涂布有润滑液或保养液体，故当高速移动的取放装置30经过润滑液或保养液体时，润滑液或保养液体受到取放装置30的影响，润滑液或保养液体会产生有液体飞溅的情况，如同高速行驶的车辆通过路面的积水，造成积水飞溅，而前述的飞溅的润滑液或保养液体受到工作环境或瞬间溅出的影响，其会进一步转变为油雾或微粒。[0006]上述的取放装置30设置于一狭窄空间或一半密闭空间，所以当取放装置30于其运动路径高速移动时，其会产生一活塞效应(Piston Effect)，活塞效应是指于隧道中高速移动的列车，会带动隧道中的空气产生高速流动，而形同类似汽缸内的活塞压缩气体的现象，反推至上述的机台，移动装置可视同列车，狭窄空间或半密闭空间可视同隧道，油雾或微粒可视同压缩气体与隧道中的空气。[0007]承上所述，高速移动的取放装置30带动油雾或微粒，以使其流动，并于运动路径的末端集中，该末端为活塞效应最明显处，并产生一近似压缩的效果，集中的油雾或微粒会被挤压而四溢，进而污染被加工物，若被加工物为晶圆31或高科技产品，其于制程中遭到污染，则有可能造成被加工物产生污损。[0008]若以上述的晶粒捡选机为例，取放装置30的油污的飞溅将会造成位于取放装置 30下方的晶粒32受到油雾污染，造成后续制程的良率不佳，进而影响晶粒32捡选的品质。[0009]现有的防治方式，其于移动路径的适当位置处设有防尘遮板，然而防尘遮板仅能阻挡少部份的油雾或微粒，大部分的油雾或微粒仍会污损被加工物，故现有的防治方法或结构仍有尚待改善的空间。发明内容[0010]有鉴于上述的缺点，本实用新型的目的在于提供一种防治油雾或微粒的引导装置，其是将一延伸部设于高速移动的移动单元的移动路径，以集中移动中所产生的油雾或微粒，并能使其无法产生近似压缩的效果，故使油雾或微粒不会被挤压而四溢，进而避免其污损被加工物。[0011]为了达到上述的目的，本实用新型的技术手段在于提供一种防治油雾或微粒的引导装置，应用于一机台，该机台具有一移动单元，该移动单元具有一移动路径，该引导装置包括有一延伸部，其设于该移动路径上。[0012]所述的防治油雾或微粒的引导装置，其中，该延伸部位于该移动路径的一端。[0013]所述的防治油雾或微粒的引导装置，其中，该延伸部位于该移动路径的一侧。[0014]所述的防治油雾或微粒的引导装置，其中，该延伸部为多个导孔。[0015]所述的防治油雾或微粒的引导装置，其中，各导孔连接一管体的一端，该管体的另一端连接有一抽气装置。[0016]所述的防治油雾或微粒的引导装置，其中，该移动路径连接有一导管，该导管相通该导孔，该导管连接一管体的一端，该管体的另一端连接有一抽气装置。[0017]所述的防治油雾或微粒的引导装置，其中，该机台为一晶粒捡选机。[0018]如上所述的本实用新型的防治油雾或微粒的引导装置，其是凭借延伸部，而将移动单元所产生的活塞效应的可能压缩空间予以扩大，即将活塞效应最明显处于以舒缓，进而使得高速移动产生的油雾或微粒仅能集中延伸部，而无法于延伸部中产生近似压缩的效果，如此油雾或微粒就无法被挤压而四溢，故使被加工物的品质得以确保。
[0019]图1为本实用新型的防治油雾或微粒的引导装置的第一实施例的另一角度的立体示意图；[0020]图2为本实用新型的防治油雾或微粒的引导装置的第一实施例的立体示意图；[0021]图3为本实用新型的防治油雾或微粒的引导装置的第二实施例的立体示意图；[0022]图4为本实用新型的防治油雾或微粒的引导装置的第三实施例的立体示意图；[0023]图5为本实用新型的防治油雾或微粒的引导装置的第四实施例的立体示意图；[0024]图6为本实用新型的防治油雾或微粒的引导装置的第五实施例的立体示意图；[0025]图7为现有的取放装置取放晶粒的示意图。[0026]附图标记说明1-机台；10-移动单元；11-移动路径；2-延伸部；20-导孔；21-导管；22-管体；23-抽气装置；24-导孔；25-管体；26-抽气装置；3-机台；30-取放装置； 31-晶圆；32-晶粒；33-匣盘。
具体实施方式
[0027]以下是凭借特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，所属技术领域中具有通常知识者可由本说明书所揭示的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。[0028]请配合参考图1及图2所示，本实用新型为一种防治油雾或微粒的引导装置的第一实施例，其应用于一机台1，机台1可为一晶粒捡选机，机台1中设有一能够高速移动的移动单元10，移动单元10能为一传动涡杆总成或一线性滑轨总成，移动单元10具有一移动路径11。[0029]于本实施例中，该引导装置具有一延伸部2，延伸部2设于移动路径11的一端。[0030]请配合参考图3所示，其为本实用新型的第二实施例，上述的延伸部变更为多个导孔20，其于结构皆未变更，故元件符号沿用上一实施例，而随后所述的各实施例的元件符号标示亦比照第二实施例，特先陈明。[0031]多个导孔20设于移动路径11的一端。[0032]请配合参考图4所示，其为本实用新型的第三实施例，其为本实用新型的第二实施例的进一步衍生。[0033]如图所示，一导管21设于移动路径11的一端，导管21与图2所示的导孔20相通， 导管21的另一端连接有一管体22，管体22的另一端连接有一抽气装置23。[0034]请配合参考图5所示，其为本实用新型的第四实施例，多个导孔M设于移动路径 11的一侧，导孔M为延伸部的另一实施例。[0035]请配合参考图6所示，其为本实用新型的第五实施例，多个管体25分别连接与其相对应的图4的导孔M，各管体25的另一端连接一抽气装置26。[0036]请再配合参考图1所示，当移动单元10沿着移动路径11高速移动时，并且移动单元10通过移动路径11所设有润滑液或保养液体，润滑液或保养液体形成油雾或微粒，油雾或微粒随着移动单元10高速移动，而当油雾或微粒进入本实用新型的第一实施例的延伸部2时，因延伸部2等同一延伸且封闭的空间，所以前述的油雾或微粒集中于延伸部2，受到延伸部2的延伸空间的影响，油雾或微粒无法产生近似压缩的效果或过度集中于延伸部2 中，故凭借延长空间的延伸部2，以取消上述的活塞效应，而使油雾或微粒无法被压缩而四溢，进而保护被加工物不受污损。[0037]如图3及5所示，油雾或微粒可遵循导孔20J4与导管21的引导，而排出，以避免被加工物受到污损。[0038]如图4及6所示，抽气装置23 J6可通过管体22、25抽取来自导孔20、24的油雾或微粒。[0039]综合上述，本实用新型凭借一延伸部的设计，其是将一压缩空间予以扩大，即疏缓活塞效，而使压缩空间形成一缓冲空间，所以当高速移动的油雾或微粒无法于前述的缓冲空间中形成近似压缩的效果，仅能集中于缓冲空间中，进而使得油雾或微粒无法被挤压而四溢。[0040]若移动单元设于更狭隘的空间中，延伸部可进一步衍生为导孔的设计，以使油雾或微粒由导孔排出，导孔的设计亦能避免当移动单元以高速回复至最初位置时，油雾或微粒随的高速移动，而管体与抽气装置的设计是使油雾或微粒的排出效果更佳。[0041]惟以上所述的具体实施例，仅系用于例释本实用新型的特点及功效，而非用于限定本实用新型的可实施范畴，于未脱离本实用新型上揭的精神与技术范畴下，任何运用本实用新型所揭示内容而完成的等效改变及修饰，均仍应为下述的申请专利范围所涵盖。
权利要求1.一种防治油雾或微粒的引导装置，其特征在于，应用于一机台，该机台具有一移动单元，该移动单元具有一移动路径，该引导装置包括有一延伸部，其设于该移动路径上。
2.如权利要求1所述的防治油雾或微粒的引导装置，其特征在于，该延伸部位于该移动路径的一端。
3.如权利要求1所述的防治油雾或微粒的引导装置，其特征在于，该延伸部位于该移动路径的一侧。
4.如权利要求1、2或3所述的防治油雾或微粒的引导装置，其特征在于，该延伸部为多个导孔。
5.如权利要求4所述的防治油雾或微粒的引导装置，其特征在于，各导孔连接一管体的一端，该管体的另一端连接有一抽气装置。
6.如权利要求4所述的防治油雾或微粒的引导装置，其特征在于，该移动路径连接有一导管，该导管相通该导孔，该导管连接一管体的一端，该管体的另一端连接有一抽气装置。
7.如权利要求1所述的防治油雾或微粒的引导装置，其特征在于，该机台为一晶粒捡选机。
专利摘要一种防治油雾或微粒的引导装置，其具有一延伸部，延伸部设于一机台的移动单元的移动路径，当高速移动的移动单元产生活塞效应时，移动中所产生的油雾或微粒集中于延伸部，该延伸部可减少活塞效应，故使油雾或微粒无法产生一近似压缩的效果，以使油雾或微粒无法被压缩而四溢，进而使被加工物不会受到油雾或微粒的污损。
文档编号B08B17/00GK202270691SQ20112038473
公开日2012年6月13日 申请日期2011年10月8日 优先权日2011年7月8日
发明者刘建志, 陈世伟, 陈志成 申请人:均华精密工业股份有限公司