专利名称：炉管清洗台的制作方法
技术领域：
炉管清洗台
技术领域：
本实用新型涉及半导体领域，尤其涉及一种炉管清洗台。背景技术：
传统的炉管清洗台在清洗扩散炉的炉管时候，一般选择将炉管放置在炉管清洗台上，采用人工操作转动炉管，以完成清洗。然而，采用人工操作转动炉管，容易导致炉管清洗时沾染污垢，造成对产品质量的影响。
实用新型内容基于此，有必要提供一种清洗扩散炉的炉管时不需要人工操作转动炉管的炉管清洗台。一种炉管清洗台，包括清洗平台、安装在所述清洗平台上的转动轴以及用于驱动所述转动轴的电机；所述转动轴可以在所述电机的驱动下转动。优选的，所述转动轴包括轴体和套设在所述轴体上的清洗环。优选的，所述转动轴的末端与所述电机相连。这种炉管清洗台在清洗扩散炉时，通过电机驱动转动轴转动，从而带动扩散炉炉管转动，不需要人工操作转动炉管。
图1为一实施方式的炉管清洗台的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图和实施例对炉管清洗台做进一步的解释说明。如图1所示的一实施方式的炉管清洗台，包括清洗平台10、安装在清洗平台10 上的转动轴20以及用于驱动转动轴20的电机30(图中仅显示部分结构)。为了能够更清楚的看到转动轴20，清洗平台10仅显示部分结构，实际上的清洗平台10应该为长方体结构。转动轴20可以在电机30的驱动下转动。转动轴20包括轴体22和套设在轴体22上的清洗环对。转动轴20的末端与电机30相连。这种炉管清洗台在清洗扩散炉时，通过电机30驱动转动轴20转动，从而带动扩散炉炉管转动，不需要人工操作转动炉管。使用这种炉管清洗台清洗扩散炉，相对于传统的方式，更加安全，同时减少沾污从而提高清洗洁净度。以上所述实施例仅表达了本实用新型的一种或几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
权利要求1.一种炉管清洗台，其特征在于，包括清洗平台、安装在所述清洗平台上的转动轴以及用于驱动所述转动轴的电机；所述转动轴可以在所述电机的驱动下转动。
2.如权利要求1所述的炉管清洗台，其特征在于，所述转动轴包括轴体和套设在所述轴体上的清洗环。
3.如权利要求1所述的炉管清洗台，其特征在于，所述转动轴的末端与所述电机相连。
专利摘要本实用新型公开了一种炉管清洗台，包括清洗平台、安装在所述清洗平台上的转动轴以及用于驱动所述转动轴的电机；所述转动轴可以在所述电机的驱动下转动。这种炉管清洗台在清洗扩散炉时，通过电机驱动转动轴转动，从而带动扩散炉炉管转动，不需要人工操作转动炉管。
文档编号B08B9/02GK202263761SQ201120384709
公开日2012年6月6日 申请日期2011年10月11日 优先权日2011年10月11日
发明者业海俊, 叶宗桂, 柏才利 申请人:深圳深爱半导体股份有限公司