专利名称：一种扩散炉石英炉管的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种用于电池片生产用扩散炉石英炉管，具体说是涉及一种排气管带N2反吹管路的扩散炉英炉管。
背景技术：
现有扩散炉全都采用尾部排气即自炉尾插入一根排气管，工艺过程中其反应废气通过炉内排气管从炉尾排出。如图I所示，扩散工艺中残余的废气会自炉口进入排气管流 向炉尾并经过尾液瓶排掉，由于排气管道很长(2250MM)其中P2O5经过炉尾排气管伸出段时，由于温度的骤降，和周围的水汽反应，生成稠状具腐蚀性的液体偏磷酸P205+H20=2HP03随着稠状偏磷酸在尾管壁的聚集(此时可看到尾管处有少许液体存在)，经过的P2O5微晶颗粒有一部分会附着在稠状偏磷酸上在此聚集生长。遇水汽时又发生上述生成偏磷酸的反应。不断附着的P2O5颗粒和生成的稠状HPO3形成类似混凝土状的结构直至完全堵塞排气管(整个过程约20-25天)。并不断的对排气管进行腐蚀，50天-70天排气管就会断裂。自排气管堵塞直至断裂整个工艺过程都处于不可控状态，电池片品质会不可避免的下降同时造成维护成本的上升和维护周期的缩短。
实用新型内容本实用新型所要解决的问题在于，克服现有技术存在的缺陷，提供一种扩散炉石英炉管，在非工艺时间段内向排气管注入一定量的N2来吹扫和疏通排气管，从根本上根除排气管堵塞。本实用新型扩散炉石英炉管，包括由石英炉管内引出的排气管，排气管接入尾液瓶；其特征是所述尾液瓶上部的尾气排口通过三通分别联通排风管道和保护氮进气管；三通与排风管道间设尾气阀门，保护氮进气管上串接单向阀和保护氮阀门。扩散炉石英炉管处于工作状态时，保护氮阀门常闭，尾气阀门常开。当工艺结束推拉舟退至后限位时，保护氮阀门打开，同时尾气阀门关闭，保护氮(N2)通过尾液瓶和排气管进入扩散炉石英管内，可将排气管内部分残存的偏磷酸推到高温区再次被气化后从炉口排毒箱排走。起到保护排气管不堵塞、不和石英尾管粘连和炉口干净的作用。单向阀的作用是防止工艺废气逆向腐蚀保护氮流量计，为确保石英炉管的洁净度。可有效避免排气管因堵塞造成断裂给工艺和设备维护带来的损失，延长石英炉管的使用寿命，同时对电池片电性能的稳定有一定的作用。本实用新型通过在非工艺时间段内通过向排气管反吹一定量N2方案，可有效避免排气管因堵塞造成断裂给工艺和设备维护带来的损失，结构简单实用，成本低廉，延长了石英炉管及排气管的使用寿命和维护周期，同时保证电池片的品质。
图I是现有技术的扩散炉石英炉管及其排气系统示意图。[0008]图2是本实用新型扩散炉石英炉管结构及管路示意图。
具体实施方式
以下结合附图，对本实用新型做详细说明。如图2所示，扩散炉石英炉管，包括由石英炉管I内引出的排气管2，排气管接入尾液瓶3。所述尾液瓶上部的尾气排口 4通过四氟三通5分别联通排风管道和保护氮进气管
6。四氟三通与排风管道间设尾气阀门7，采用电磁阀。保护氮进气管上串接单向阀8和保护氮阀门9。保护氮阀门采用电磁阀。保护氮进气管接氮气气源。扩散炉石英炉管处于工作状态时，保护氮阀门常闭，尾气阀门常开。当工艺结束推拉舟退至后限位时，后限位传感器常闭触点断开、保护氮电磁阀打开，同时尾气阀门失电关闭。保护氮通过尾液瓶和排气管进入扩散炉石英管内，可将排气管内部分残存的偏磷酸推到高温区再次被气化后从炉口排毒箱排走。起到保护排气管不堵塞、不和石英尾管粘连和炉口干净的作用，可有效避免排气管因堵塞造成断裂给工艺和设备维护带来的损失，延长石英炉管的使用寿命，同时对电池片电性能的稳定有一定的作用。本实用新型通过以这种后限位传感器信号作为向排气管通保护氮条件的方案，避免了在工艺时间内或炉门未开启时向排气管注入保护氮带来的炉内气氛场混乱和压力过大对炉体及片子造成的不利影响。
权利要求1.一种扩散炉石英炉管，包括由石英炉管内引出的排气管，排气管接入尾液瓶；其特征是所述尾液瓶上部的尾气排口通过三通分别联通排风管道和保护氮进气管；三通与排风管道间设尾气阀门，保护氮进气管上串接单向阀和保护氮阀门。
专利摘要本实用新型公开了一种扩散炉石英炉管，包括由石英炉管内引出的排气管，排气管接入尾液瓶。所述尾液瓶上部的尾气排口通过三通分别联通排风管道和保护氮进气管；三通与排风管道间设尾气阀门，保护氮进气管上串接单向阀和保护氮阀门。本实用新型通过在非工艺时间段内通过向排气管反吹一定量N2方案，可有效避免排气管因堵塞造成断裂给工艺和设备维护带来的损失，结构简单实用，成本低廉，延长了石英炉管及排气管的使用寿命和维护周期，同时保证电池片的品质。
文档编号C30B31/16GK202809005SQ201220501670
公开日2013年3月20日 申请日期2012年9月28日 优先权日2012年9月28日
发明者张虎 申请人:中电电气(南京)光伏有限公司