专利名称：一种多端进排气可控型扩散炉管的制作方法
技术领域：
本实用新型属于石油化工技术领域，涉及一种通过高温扩散掺杂技术形成晶体硅太阳能电池PN结的管式生产装置，具体地说，涉及一种多端进排气可控型扩散炉管。
背景技术：
目前，公知的扩散炉管在炉管尾部设置有一个进气端和一个出气端。工作气体通过进气端从炉管尾部直接通入炉管；出气端处插入长导管至炉管头部，起到把废气从炉管头部导出的作用。所要扩散掺杂的晶体硅片密集排列放置于炉管内，以便工作气体由炉管尾部流动到头部的过程中和晶体硅片进行反应。但是，在工作气体从尾部到头部的过程中， 由于和晶体硅片进行反应，浓度会不断降低，组份比例会不断变化，这样就造成了炉管尾部和头部的晶体硅片反应条件不一致，导致了扩散掺杂后的硅片品质存在差异。另外，由于晶体硅片在炉管内呈密集排列，并且排列间隙与气体流动方向几乎垂直，这就导致了工作气体在晶体硅片间隙内流动、分散不均匀，使晶体硅片排列间隙深处没有间隙边缘部分扩散掺杂充分。再者，多种工作气体在通入炉管前没有进行混合，而是借由进入炉管内进行混合，但扩散炉内温度往往较高，化学反应比较剧烈，各种工作气体容易在混合完全前发生不必要的化学反应，生成其他副产物，影响扩散效果。
实用新型内容本实用新型的目的是针对现有技术存在的不足，提供一种多端进排气可控型扩散炉管，该多端进排气可控型扩散炉管可以控制炉管内气流情况，有效调控炉管内各处工作气体的浓度，使工作气体在晶体硅片的间隙内充分流动、分散，并在通入炉管前进行充分混口 ο本实用新型的技术方案如下在扩散炉管尾部设置多个进气端，每个进气端可以插入进气导管，每个进气导管都连有单独控制气体流量的电磁阀，进气导管的进气端设置有混气腔室，进气导管可以根据实际生产技术要求设定不同长度伸入到炉管的不同位置，当需要调整进气导管的出气端区域工作气体浓度时，对控制此导管气流量的电磁阀进行相应的调整；在扩散炉管尾部设置多个出气端，每个出气端可以插入出气导管，每个出气导管的出气端都有单独的阀门控制出气流量，出气导管可以根据实际生产技术要求设定不同长度伸入到炉管的不同位置， 当要对炉管内气流流向进行调整时，对控制此导管气流量的阀门进行相应调整。进气导管组位于炉管内的上(下)侧或左(右)侧，出气导管组位于炉管内的下(上)侧或右(左侧)，进气导管组和出气导管组始终处于相对侧。本实用新型与现有技术相比其有益效果本实用新型多端进排气可控型扩散炉管可以在工作气体进入炉管前进行充分混合，调控扩散炉管内各处工作气体的浓度和流向， 使气流流动方向平行于晶体硅片间隙，充分流过晶体硅片间隙。以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型作进一步详细地说明。图I是本实用新型的构造图；图2、图3是本实用新型的内部构造图；图4是本实用新型的扩散炉管构造图。
具体实施方式
参照
图1-4，一种多端进排气可控型扩散炉管，由扩散炉管、出气导管、炉管盖构成，所述扩散炉管I尾部设置有I个以上进气端11和出气端12，每个进气端11、出气端12 可插入长短不一的进气导管、出气导管，每个进气导管的进气端设有混气腔室3，每个出气导管的出气端设有出气调节阀4，前端出气导管5、中端出气导管6、尾端出气导管7、前端进气导管8、中端进气导管9、尾端进气导管10通过扩散炉管I尾部的出气端12和进气端11 组装在一起，前端出气导管5、中端出气导管6、尾端出气导管7的开端处是出气调节阀4，前端进气导管8、中端进气导管9、尾端进气导管10的开端处是混气腔室3，炉管盖2位于扩散炉管I的前端起到开闭炉管的作用。为确保气流的充分流动、分散以及气流的稳定和可控，所述出气端12和进气端11 分别位于炉管的相对侧，中端出气导管6、尾端出气导管7对称分布在前端出气导管5两侧， 中端进气导管9、尾端进气导管10对称分布在前端进气导管8两侧。以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式
，本实用新型的保护范围不限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型披露的技术范围内，可显而易见地得到的技术方案的简单变化或等效替换均落入本实用新型的保护范围内。
权利要求1.一种多端进排气可控型扩散炉管，由扩散炉管、出气导管、炉管盖构成，其特征在于， 所述扩散炉管(I)尾部设置有I个以上进气端(11)和出气端(12)，每个进气端(11)、出气端(12)可插入长短不一的进气导管、出气导管，每个进气导管的进气端设有混气腔室(3)， 每个出气导管的出气端设有出气调节阀(4)，前端出气导管(5)、中端出气导管(6)、尾端出气导管(7)、前端进气导管(8)、中端进气导管(9)、尾端进气导管(10)通过扩散炉管(I)尾部的出气端(12)和进气端(11)组装在一起，前端出气导管(5)、中端出气导管￠)、尾端出气导管(7)的开端处是出气调节阀(4)，前端进气导管(8)、中端进气导管(9)、尾端进气导管(10)的开端处是混气腔室(3)，炉管盖(2)位于扩散炉管(I)的前端。
2.根据权利要求I所述的多端进排气可控型扩散炉管，其特征在于，所述出气端(12) 和进气端(11)分别位于炉管的相对侧，中端出气导管(6)、尾端出气导管(7)对称分布在前端出气导管(5)两侧，中端进气导管(9)、尾端进气导管(10)对称分布在前端进气导管(8) 两侧。
专利摘要本实用新型涉及一种多端进排气可控型扩散炉管，在扩散炉管尾部设置多个进气端和出气端，每个进、出气端插入长短不一的进、出气导管，每个进气导管的进气端有混气腔室，每个出气导管的出气端有出气调节阀。工作气体在进气端的混气腔室进气充分混合后由进气导管导入炉管相应部位，废气由相对侧的出气导管导出炉管，每根出气导管的出气端有出气调节阀可以调节出气流量，由此调控炉管内工作气体的整体流动和局部浓度情况。本实用新型适用于石油化工技术领域。
文档编号C30B31/16GK202347128SQ201120508638
公开日2012年7月25日 申请日期2011年12月9日 优先权日2011年12月9日
发明者周建成, 周晓锋, 孔黎晖, 张小松 申请人:东南大学