技术编号:15234399
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及以锌、铌、铝及氧作为构成元素的氧化物烧结体及包含该烧结体而成的溅射靶。背景技术近年来,在便携型显示器及建材玻璃中,采用高折射率膜来调整折射率。作为高折射率材料,通常的氧化铌靶在常压烧结法中无法获得能够DC放电的靶的导电性,因此,通过在高温、加压条件下将烧结体还原而提高了烧结体的导电性(例如,参照专利文献1)。另外,报告了通过在氧化铌中添加锌而使电阻率降低(例如,参考专利文献2)。然而,由于所有方法均用热压法来制造,因此,对于大型靶的制造而言,需要巨大的压制装置,是不现实的工艺,由此靶的...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。