技术编号:15309349
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及适于夹持的静电卡盘,更特别涉及适于Johnsen-Rahbek夹持的静电卡盘。背景技术相关技术描述静电夹具或卡盘(ESC)常常用在半导体行业中,用于在基于等离子体或基于真空的半导体工艺(如蚀刻、CVD和离子注入等等)中夹持衬底。ESC的性能,包括无边缘排除和晶片温度控制,已经证实在加工半导体衬底或晶片(如硅晶片)中极有价值。典型的ESC例如包含位于导电电极上方的电介质层,其中该半导体晶片放置在该ESC的表面上(例如,该晶片放置在该电介质层的表面上)。在半导体加工(例如离子注入、等离子体...
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