技术编号:15362309
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及布线结构和用于成膜该布线结构中的Al合金薄膜的溅射靶,特别是涉及氯化物离子耐性优异的布线结构。另外,本发明还涉及具有所述布线结构的显示装置、输入装置及触控板。背景技术在液晶显示器、有机EL显示器、触控板等的显示装置和输入装置等的电极材料所用的布线膜中,所使用的布线结构利用了Al薄膜和以Al为母材的Al合金薄膜,以利用其电阻率低、容易微细加工这样的特长。例如在专利文献1中,公开有一种抗突起性优异的半导体装置用电极或布线材料,其特征在于,由含有从Ta、Ti、Nd、Gd、Fe、Co、Ni所构...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。