技术编号:15423045
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及镀膜机辅助设备技术领域,具体为一种真空镀膜机冷却装置。背景技术目前,真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种,主要分成蒸发和溅射两种。镀膜机的使用能够有效的增加镀膜效率,使得工业生产的效率可以得到有效的增加,然而真空镀膜机在使用时由于高频率的运作会产生较多的热量,这样对设备的安全性会产生较大的影响,现阶段用于真空镀膜机的冷却装置在使用时能够起到基本的降温冷却作用,然而在实际使用中仍然...
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