一种真空镀膜机冷却装置的制作方法

文档序号:15423045发布日期:2018-09-12 00:12阅读:214来源:国知局

本实用新型涉及镀膜机辅助设备技术领域,具体为一种真空镀膜机冷却装置。



背景技术:

目前,真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种,主要分成蒸发和溅射两种。镀膜机的使用能够有效的增加镀膜效率,使得工业生产的效率可以得到有效的增加,然而真空镀膜机在使用时由于高频率的运作会产生较多的热量,这样对设备的安全性会产生较大的影响,现阶段用于真空镀膜机的冷却装置在使用时能够起到基本的降温冷却作用,然而在实际使用中仍然存在着一些方面的技术不足和缺陷。

经检索,专利公告号为CN 205473951U公开了一种真空镀膜机冷却装置,该装置包括真空镀膜仓,真空镀膜仓的两侧均具有冷却单元,冷却单元包括多个间隔设置的外部管壳和多个间隔设置的内部管壳。

现有技术中一种真空镀膜机冷却装置所具有的缺点不足:

1.冷却效果不够好;

2.冷却装置没有设置防护装置,这样在使用中容易遭到破坏,进而影响装置的使用寿命;

3.没有设置高温报警机制,安全性较低。



技术实现要素:

(一)解决的技术问题

本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜机冷却装置,解决了装置的冷却效果不够好,冷却机构没有设置防护装置以及装置没有设置高温报警机制的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种真空镀膜机冷却装置,包括镀膜机腔体,所述镀膜机腔体的外壁上依次设置有冷却管道,且每个所述冷却管道呈间隔设置,相邻的两个冷却管道之间连接有连通管,同时冷却管道的顶端设置有散热板,所述散热板的内壁上依次连接有导热槽,并且所述导热槽的另一端与镀膜机腔体的外壁相连,所述冷却管道的一端设置有进水口,同时冷却管道的另一端设置有出水口,所述散热板的内侧设置有温度传感器,所述温度传感器输出端连接的电控箱通过安装座固定在散热板的外壁上,所述散热板外壁上设置的警报器位于所述电控箱的一侧,同时电控箱的外壁上凸出设置有显示屏,电控箱的侧壁上设置有电源接口。

优选的,所述散热板呈环形套接在冷却管道的外侧,同时散热板的外壁上设置有表面凹凸的褶皱层。

优选的,所述电控箱的输出端与所述警报器电性连接。

优选的,所述电控箱的内部依次设置有控制端子和继电器。

优选的,所述电控箱的内部分别安装有保险器和断路器,且所述保险器和断路器设置在继电器的上方。

(三)有益效果

本实用新型提供了一种真空镀膜机冷却装置,具备以下有益效果:

1、本实用新型通过设置冷却管道、连通管、导热槽、散热板以及褶皱层,冷却管道设置在镀膜机腔体的外表面,使用时能够有效降低镀膜机腔体表层温度,且冷却管道经连通管相互连接,方便冷却水的流通以及出水和进水的进行,其次导热槽能够将镀膜机腔体的温度传递给散热板,散热板的表面设置为褶皱层,方便温度及时外散,本实用新型相比传统的冷却装置增加了导热槽、散热板以及设置在散热板外表面的褶皱层,能够起到进一次冷却散热的作用,使得镀膜机腔体的冷却效果增加。

2、本实用新型通过设置散热板,散热板除了辅助散热的同时还能够起到有效的防护保护作用,防止内部的冷却管道遭到破坏,能够增加冷却装置的使用寿命,安全稳定性升高,从而提升装置的使用性能。

3、本实用新型通过设置温度传感器、警报器以及电控箱,使用时温度传感器能够时时感测镀膜机腔体外侧的温度信息,并且将信息传递给电控箱,电控箱对信息数据做出处理,并且根据相应的数据处理结果控制警报器的工作状态,当镀膜机腔体外侧气温过高时警报器能够工作,提示工作人员做出调整,使得装置的安全性增加,以免在特殊情况下镀膜机腔体温度过高而无法得知,使用灵活性增加。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图;

图2为本实用新型的右视图;

图3为本实用新型电控箱的内部结构示意图。

图中:1镀膜机腔体、2冷却管道、3连通管、4温度传感器、5导热槽、6散热板、7褶皱层、8出水口、9进水口、10警报器、11电控箱、12显示屏、13电源接口、14控制端子、15继电器、16保险器、17断路器。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

如图1-3所示,本实用新型提供的一种实施例:一种真空镀膜机冷却装置,包括镀膜机腔体1,镀膜机腔体1的外壁上依次设置有冷却管道2,且每个冷却管道2呈间隔设置,相邻的两个冷却管道2之间连接有连通管3,同时冷却管道2的顶端设置有散热板6,使用时散热板6呈环形套接在冷却管道2的外侧,同时散热板6的外壁上设置有表面凹凸的褶皱层7,褶皱层7的设置可以更好的散热,并且散热板6的内壁上依次连接有导热槽5,导热槽5的另一端与镀膜机腔体1的外壁相连,冷却管道2的一端设置有进水口9,同时冷却管道2的另一端设置有出水口8,散热板6的内侧设置有温度传感器4,温度传感器4输出端连接的电控箱11通过安装座固定在散热板6的外壁上,并且散热板6外壁上设置的警报器10位于电控箱11的一侧,使用时电控箱11的输出端与警报器10电性连接,同时电控箱11的外壁上凸出设置有显示屏12,电控箱11的侧壁上设置有电源接口13,电控箱11的内部依次设置有控制端子14和继电器15,其次电控箱11的内部分别安装有保险器16和断路器17,保险器16和断路器17的设置能够有效增加电控箱11的安全性能,使用时保险器16和断路器17设置在继电器15的上方。

在使用时,冷却管道2设置在镀膜机腔体1的外表面,冷却管道2经连通管3相互连接,方便冷却水的流通以及出水和进水的进行,其次导热槽5能够将镀膜机腔体1的温度传递给散热板6,散热板6除了辅助散热的同时还能够起到有效的防护保护作用,防止冷却管道2被破坏,散热板6的表面为褶皱层7,可以增加散热效率,其次温度传感器4能够时时感测镀膜机腔体1外侧的温度信息,并且将信息传递给电控箱11,电控箱11对信息数据做出处理,并且根据相应的数据处理结果控制警报器10的工作状态,当镀膜机腔体1外侧气温过高时警报器10能够工作,提示工作人员做出调整。

综上可得,本实用新型通过设置冷却管道2、连通管3、温度传感器4、导热槽5、散热板6、褶皱层7、警报器10、电控箱11、保险器16以及断路器17,解决了装置的冷却效果不够好,冷却机构没有设置防护装置以及装置没有设置高温报警机制的问题。

需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

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