技术编号：15464543
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及强介电薄膜技术领域，尤其涉及一种柔性强介电薄膜及其制作方法。背景技术锆钛酸铅(PZT)是PbZrO3和PbTiO3的混合体，是一种强介电材料，有着优异的压电特性和介电特性，并且随着PZT中Zr/Ti比的变化，其特性也会发生改变，因此被广泛应用于传感器、电容器等电子器件中，并逐渐从独立的个体材料向可集成化的薄膜材料转变。近些年，随着穿戴设备迅猛发展，人们认识到柔性化材料的应用优势，很多研究机投入巨大精力从事这方面的研究。现有技术主要通过改进原材料构成、制作工艺来将PZT薄膜的成膜温度降低...
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