技术编号:15520069
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种基板处理装置。背景技术已知一种能够对以多层的方式被保持于基板保持具的多张基板统一地进行处理的、批量式的基板处理装置。作为批量式的基板处理装置已知一种具有容纳基板的内管、包围内管的外管、在内管的侧壁设置的气体排气口、对被内管与外管夹持的空间进行排气的排气单元的装置(例如参照专利文献1)。在该装置中,气体排气口的开口宽度随着接近排气单元而逐渐变窄,因此调整排气的平衡,使向基板的表面供给的气体的流速在基板间均匀化。专利文献1:日本专利第5284182号公报发明内容发明要解决的问题然而,在...
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