一种基于差动补偿的光电自准直装置及方法与流程技术资料下载

技术编号:15552692

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本发明涉及精密仪器制造和测试计量技术领域,具体涉及了一种基于差动补偿的光电自准直装置及方法。背景技术随着现代工业生产水平的不断提高,对测试计量技术的精度也提出了更高要求。在小角度精密测量方面,自准直仪由于具有较高的精度和分辨力,且结构简单,成本较低,因而得到了广泛应用,例如导轨的直线度测量、台面的平面度测量、转台的不确定度标定、光学系统和机械设备的安装调试等,是机械制造、航空航天、测试计量等科研部门必备的测量仪器。激光由于单色性好、方向性好、亮度高的优点,常用作自准直仪的光源。但由于激光器谐振腔...
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