技术编号：15670752
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体为一种卷绕式真空镀膜机靶材靶芯的改进结构。背景技术目前，常用的靶芯组件主要是由阴极、靶头、轴套、石墨碳环、弹簧、垫片、锁紧螺母和聚合物环八大部分组成，组装时，聚合物环→轴套→密封圈→石墨环→弹簧→垫片→锁紧螺母2个。组装完成后，轴套最后是与靶材固定的，在靶材处于旋转状态时，阴极是固定不动的。在靶材旋转过程中，靶头上只有轴套是随靶材一起转动的，其余部分皆为静止不动。靶材旋转过程中，由于内部通有冷却水，为防止冷却水泄漏，除靶头头部与水管连接部分以外，其防止冷却水...
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