本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体为一种卷绕式真空镀膜机靶材靶芯的改进结构。
背景技术：
目前，常用的靶芯组件主要是由阴极、靶头、轴套、石墨碳环、弹簧、垫片、锁紧螺母和聚合物环八大部分组成，组装时，聚合物环→轴套→密封圈→石墨环→弹簧→垫片→锁紧螺母2个。组装完成后，轴套最后是与靶材固定的，在靶材处于旋转状态时，阴极是固定不动的。在靶材旋转过程中，靶头上只有轴套是随靶材一起转动的，其余部分皆为静止不动。靶材旋转过程中，由于内部通有冷却水，为防止冷却水泄漏，除靶头头部与水管连接部分以外，其防止冷却水泄漏需密封的有两处：一是石墨碳环内部自带的密封圈密封，是属于静态密封，二是石墨碳环与轴套的接触处采用加装一个密封圈密封，这个密封圈主要是依靠弹簧给石墨碳环的弹力将其紧贴在轴套的下沿，使靶材旋转过程中，旋转状态下密封圈可以起到机械密封作用。但是，在组装扭紧锁紧螺母时，垫片通常会收到锁紧螺母扭力带来的旋转摩擦力和往轴套方向的挤压力，根据力的传递性，锁紧螺母旋转时容易通过摩擦力带动垫片旋转，进而会使弹簧尾部也会受到同向的旋转摩擦力，因无法消除或抵消弹簧收到的旋转摩擦力，会使弹簧在组装靶芯时受到旋转摩擦力的影响而产生一些形变，使安装过后的弹簧本体可能会存在各部分受力不匀的情况，这样就不能提供足够弹力施加于石墨碳环使密封圈紧压在轴套上，影响密封圈的密封性，导致靶材旋转过程中，密封圈的密封处可能出现不良密封，从而发生漏水的状况。
技术实现要素：
针对上述存在的问题，本实用新型目的在于提供一种卷绕式真空镀膜机靶材靶芯的改进结构，这种改动结构简单，而且可以有效的防止靶材靶芯漏水现象的发生。
本实用新型可以通过以下技术方案来实现：
一种卷绕式真空镀膜机靶材靶芯的改进结构，所述靶芯包括靶头，所述靶头上依次套设有轴套、石墨碳环、弹簧和锁紧螺母，所述轴套与石墨碳环之间设有密封圈，所述锁紧螺母与弹簧之间设有垫环，所述靶头的外侧面上设有定位槽，所述定位槽位于垫环和石墨碳环的安装位上，并与靶头的轴线平行设置，所述垫环的内侧壁上设有与定位槽相适配的垫环定位销。本实用新型卷绕式真空镀膜机靶材靶芯的改进结构，主要是利用定位槽与垫环定位销的配合可以方便垫环的安装，而且垫环安装后，垫环内侧壁上的垫环定位销刚好卡在定位槽内，当旋紧锁紧螺母时，锁紧螺母会对垫环产生的旋转摩擦力和向轴套方向的挤压力，由于垫环上的垫环定位销卡在定位槽内，限制了垫环绕靶芯轴线的旋转运动，使垫环只能沿轴套方向挤压弹簧，而不会在旋转摩擦力的作用下产生旋转运动而带动弹簧发生扭转变形，使弹簧可以在使用时受力均匀，可以施加足够的弹力在石墨碳环上，当靶芯在旋转过程中，使石墨碳环与轴套可产生相互作用进而紧压密封圈，使密封圈可以在旋转状态下起到机械密封作用，进而可以起到防止靶材漏水的情况发生。
进一步地，所述定位槽为长条状的方形槽或长条状的U形槽，并与靶头的轴线平行设置。所述定位槽设置为长条的方形槽或U形槽，一方面可以便于定位槽的加工，另一方面可以给卡在定位槽内的垫环定位销起到导向作用，使垫环定位销可以沿着定位槽向轴套方向对弹簧施加压力。
进一步地，所述垫环定位销与垫环为一体成型结构；这样在生产加工垫环时就可以直接将垫环定位销与垫环一起加工生产出来，无需再另外加工垫环定位销，方便垫环的生产加工。
进一步地，所述靶头套设有轴套的一端上设有轴肩，中部设有与锁紧螺母螺纹连接的外螺纹。所述轴肩的设置可以用于限制轴套，并给轴套起到向弹簧方向的支撑作用力；所述外螺纹的设置可以方便锁紧螺母的安装。
进一步地，所述轴肩与轴套之间设有聚合物环。所述聚合物环的设置可以防止轴套与轴肩之间的摩擦，起到保护轴套和轴肩的作用。
进一步地，所述石墨碳环的内侧壁上设有碳环定位销，所述碳环定位销与定位槽相适配。所述碳环定位销的设置可以方便石墨碳环的安装，也可以防止石墨碳环的旋转。
本实用新型卷绕式真空镀膜机靶材靶芯的改进结构，与现有技术相比，具有如下的有益效果：本实用新型主要是利用靶芯上的定位槽和垫环内的垫环定位销的配合，当组装靶芯旋紧锁紧螺母时，锁紧螺母会对垫环产生绕靶头轴线的旋转摩擦力和向轴套方向的挤压力，由于垫环定位销卡在定位槽内，限制了垫环绕靶芯轴线的旋转运动，使垫环只能沿轴套方向挤压弹簧，这样可以防止弹簧的扭转形变，使弹簧可以在使用时受力均匀，可以施加足够的弹力在石墨碳环上，当靶芯在旋转过程中，使石墨碳环与轴套可产生相互作用进而紧压密封圈，使密封圈可以在旋转状态下起到机械密封作用，进而可以起到防止靶材漏水的情况发生；而且由于设有定位槽和垫环定位销，使垫环安装时可以根据定位槽的位置安装，方便本实用新型的组装。
附图说明
图1为本实用卷绕式真空镀膜机靶材靶芯的改进结构的零部件分解图；
图2为本实用卷绕式真空镀膜机靶材靶芯的改进结构的装配图。
具体实施方式
为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合实施例及附图对本实用新型产品作进一步详细的说明。
如图1和图2所示，一种卷绕式真空镀膜机靶材靶芯的改进结构，所述靶芯包括靶头1，所述靶头1上依次套设有轴套2、石墨碳环3、弹簧4 和锁紧螺母5。所述靶头1套设有轴套2的一端上设有轴肩102，中部设有与锁紧螺母5螺纹连接的外螺纹103，所述外螺纹103与轴肩102之间还设有碳环安装位104和轴套安装位105，所述轴套安装位105与轴肩102 连接，所述轴套2套接在轴套安装位105上，所述石墨碳环3套接在碳环安装位104上。所述靶头1的外侧面上设有两条定位槽101，所述定位槽 101为长条状的方形槽或长条状的U形槽，由外螺纹103延伸至碳环安装位104上，而且两条定位槽101以靶头1的轴线为中心线对称设置，并与靶头1的轴线平行设置。所述锁紧螺母5与弹簧4之间设有垫环6，所述垫环6的内侧壁上设有两个与定位槽101相适配的垫环定位销601，所述垫环定位销601与垫环6为一体成型结构，组装时，将垫环6上的垫环定位销601卡在外螺纹103上的定位槽101内。所述石墨碳环3的内侧壁上也设有两个碳环定位销301，所述碳环定位销301与定位槽101相适配，组装时，碳环定位销301卡在碳环安装位104上的定位槽101内。所述轴套2与石墨碳环3之间设有密封圈8，所述密封圈8设置在靶头1上的密封圈槽106上，所述密封圈槽106位于碳环安装位104和轴套安装位105 之间。所述轴肩102与轴套2之间设有聚合物环7。
如图1和图2所示，本实用新型卷绕式真空镀膜机靶材靶芯的改进结构，主要是利用靶头1上的定位槽101和垫环6内的垫环定位销601的配合，当组装靶芯旋紧锁紧螺母5时，锁紧螺母5会对垫环6产生绕靶头1 轴线的旋转摩擦力和向轴套2方向的挤压力，由于垫环定位销601卡在定位槽101内，限制了垫环6绕靶芯轴线的旋转运动，使垫环6只能沿轴套 2方向挤压弹簧4，这样可以防止弹簧4的扭转形变，使弹簧4可以在使用时受力均匀，可以施加足够的弹力在石墨碳环3上，当靶芯在旋转过程中，使石墨碳环3与轴套2可产生相互作用进而紧压密封圈8，使密封圈 8可以在旋转状态下起到机械密封作用，进而可以起到防止靶材漏水的情况发生。
以上所述，仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制；凡本行业的普通技术人员均可按说明书附图所示和以上所述而顺畅地实施本实用新型；但是，凡熟悉本专业的技术人员在不脱离本实用新型技术方案范围内，可利用以上所揭示的技术内容而作出的些许更动、修饰与演变的等同变化，均为本实用新型的等效实施例；同时，凡依据本实用新型的实质技术对以上实施例所作的任何等同变化的更动、修饰与演变等，均仍属于本实用新型的技术方案的保护范围之内。