一种真空喷涂旋转靶材的行走机构的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开一种真空喷涂旋转靶材的行走机构，该行走机构位于真空靶材喷涂罐体内并固定于罐体内壁上；该行走机构包括固定架及移动车，所述固定架包括固定板及滑轨，所述滑轨固定于固定板上，而固定板固定于罐体内壁上；所述移动车上设置有固定靶材卷筒的靶材支架，该移动车下方设置有与滑轨配合实现移动车滑动的滚轮。本实用新型增加行走机构的平稳性、降低连接喷枪电路和冷却水路的异常发生率，从而提高旋转靶材的喷涂效率，降低靶材喷涂成本。
【专利说明】一种真空喷涂旋转靶材的行走机构
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及一种真空喷涂旋转靶材的行走机构，按国际专利分类表（IPC)划 分属于靶材喷涂中移动机构【技术领域】。
【背景技术】
[0002] 在真空喷涂旋转靶材过程中，靶材和喷枪都位于真空罐体内，喷枪和旋转靶材自 己必须产生水平相对移动来完成喷涂工艺，而这种水平相对移动就要通过行走机构来实 现。现有的行走机构是通过伺服电机带动链条后，链条带动枪架，从而使得喷枪随着进行水 平移动。由于在真空喷涂靶材的真空罐体中有大量的粉尘，粉尘会导致链条与齿轮错位，最 终导致行走机构运行不稳定甚至停止行走。大大提高了真空喷涂靶材作业的异常率；而且 喷枪上有许多连接电路和冷却水路，在喷枪行走过程中，电路和冷却水路也会跟着移动，这 样导致了电路和回路异常率大大提高，从而影响旋转靶材的喷涂效率。
[0003] 由此，本发明人考虑对现有的靶材喷涂中水平移动的机构进行改进，本案由此产 生。 实用新型内容
[0004] 针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种真空喷涂旋转靶材的行走机构，其 增加行走机构的平稳性、降低连接喷枪电路和冷却水路的异常发生率，从而提高旋转靶材 的喷涂效率，降低靶材喷涂成本。
[0005] 为达到上述目的，本实用新型是通过以下技术方案实现的：
[0006] -种真空喷涂旋转靶材的行走机构，该行走机构位于真空靶材喷涂罐体内并固定 于罐体内壁上；该行走机构包括固定架及移动车，所述固定架包括固定板及滑轨，所述滑轨 固定于固定板上，而固定板固定于罐体内壁上；所述移动车上设置有固定靶材卷筒的靶材 支架，该移动车下方设置有与滑轨配合实现移动车滑动的滚轮。
[0007] 进一步，所述滑轨为两个平行设置的圆柱滑轨，每根滑轨下方均设置有滑轨支柱， 形成滑轨支撑结构。
[0008] 进一步，所述移动车包括车架、靶材支架及滚轮，所述滚轮设置于车架下方并分别 与两圆柱滑轨配合形成滑动机构，而靶材支架上端呈弧形并固定于车架中央。
[0009] 进一步,所述滚轮为表面凹陷滚轮。
[0010] 进一步，所述车架一侧设置有定位板，该定位板下方设置有齿排。
[0011] 进一步，所述行走机构还包括伺服电机，该伺服电机穿过罐体侧壁伸入至罐体的 喷涂腔内，该伺服电机的输出杆的输出端固定有齿轮，该齿轮与齿排相互哨合，形成对移动 车移动的动力结构。
[0012] 与现有技术相比较，本实用新型的优点：
[0013] 1、本实用新型是通过齿轮、齿排的传动，不易受真空腔体内大量粉尘的影响而较 目iu的行走机构稳定性大大提1? ;
[0014] 2、本实用新型是针对靶材水平移动，而喷枪相对静止，这样可以喷枪上的电路和 冷却水路在真空等离子喷涂过程中不需要移动，大大降低了电路和冷却水路的异常发生 率。
【专利附图】
【附图说明】
[0015] 图1是本实用新型结构示意图。
【具体实施方式】
[0016] 下面结合附图对本实用新型作进一步说明：
[0017] 实施例：请参阅图1所示，种真空喷涂旋转靶材的行走机构，该行走机构位于真空 靶材喷涂罐体1内并固定于罐体1内壁上；该行走机构包括固定架2、移动车3及伺服电机 4。
[0018] 请参阅图1所示，前述所述固定架2包括固定板21及滑轨22,所述滑轨22固定于 固定板21上，而固定板21固定于罐体1内壁上，其中滑轨22为两个平行设置的圆柱滑轨， 每根滑轨下方均设置有滑轨支柱221。
[0019] 请参阅图1所示，前述移动车3包括车架31、靶材支架32及滚轮33,所述滚轮33 设置于车架31下方并分别与两圆柱滑轨22配合形成滑动机构，而靶材支架32上端呈弧形 并固定于车架31中央并与罐体顶端的喷枪A相对应；车架31 -侧设置有定位板5,该定位 板5下方设置有齿排51，该齿排51与齿轮6相互哨合，形成对移动车移动方向的定位结构， 其中所述滚轮33为表面凹陷滚轮。
[0020] 请参阅图1所示，前述伺服电机4穿过罐体1侧壁伸入至罐体的喷涂腔内，前述齿 轮固6定于伺服电机4的输出杆的输出端上，该齿轮6并与齿排51相互哨合。
[0021] 请参阅图1所示，本实用新型伺在服电机启动时，通过伺服电机自带齿轮旋转，齿 轮6与移动车3上的齿排51相互作用，移动车3由于相互作用力的影响会向前或向后移 动，从而带动靶材在真空腔体内水平运动，与喷枪形成水平相对移动，即可满足真空等离子 喷涂作业要求。
[0022] 以上所记载，仅为利用本创作技术内容的实施例，任何熟悉本项技艺者运用本创 作所做的修饰、变化，皆属本创作主张的专利范围，而不限于实施例所揭示者。
【权利要求】
1. 一种真空喷涂旋转靶材的行走机构，其特征在于：该行走机构位于真空靶材喷涂罐 体内并固定于罐体内壁上；该行走机构包括固定架及移动车，所述固定架包括固定板及滑 轨，所述滑轨固定于固定板上，而固定板固定于罐体内壁上；所述移动车上设置有固定靶材 卷筒的靶材支架，该移动车下方设置有与滑轨配合实现移动车滑动的滚轮。
2. 根据权利要求1所述的一种真空喷涂旋转靶材的行走机构，其特征在于：所述滑轨 为两个平行设置的圆柱滑轨，每根滑轨下方均设置有滑轨支柱，形成滑轨支撑结构。
3. 根据权利要求1所述的一种真空喷涂旋转靶材的行走机构，其特征在于：所述移动 车包括车架、靶材支架及滚轮，所述滚轮设置于车架下方并分别与两圆柱滑轨配合形成滑 动机构，而靶材支架上端呈弧形并固定于车架中央。
4. 根据权利要求3所述的一种真空喷涂旋转靶材的行走机构，其特征在于：所述滚轮 为表面凹陷滚轮。
5. 根据权利要求3所述的一种真空喷涂旋转靶材的行走机构，其特征在于：所述车架 一侧设置有定位板，该定位板下方设置有齿排。
6. 根据权利要求1所述的一种真空喷涂旋转靶材的行走机构，其特征在于：所述行走 机构还包括伺服电机，该伺服电机穿过罐体侧壁伸入至罐体的喷涂腔内，该伺服电机的输 出杆的输出端固定有齿轮，该齿轮与齿排相互啮合，形成对移动车移动的动力结构。
【文档编号】B05B13/02GK203862461SQ201420243649
【公开日】2014年10月8日 申请日期:2014年5月14日 优先权日:2014年5月14日
【发明者】罗建冬 申请人:厦门映日新材料科技有限公司