靶材真空喷涂生产设备的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种喷涂效果好的靶材真空喷涂生产设备，包括：机架、除尘回收装置和数控水冷却装置，在所述机架上设置有真空管，在所述真空管内设置有靶材基材和等离子喷枪，在所述的真空管上依次设置有涂层测厚仪、涂层测温仪、喷涂仓冷却水进口、氮气保护气体进口、负压气口、靶材表面冷却液氮进口和视觉监控口，所述的喷涂仓冷却水进口通过连接水管与所述的数控水冷却装置相连接，所述的负压气口通过负压管与所述的除尘回收装置相连接，所述靶材基材的一端通过接头与旋转轴的一端相连接，所述的旋转轴通过若干支撑辊轮支撑在所述机架上。
【专利说明】靶材真空喷涂生产设备
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种靶材生产设备，尤其涉及一种靶材真空喷涂生产设备。
【背景技术】
[0002]在建筑玻璃、电子产品显示器等行业都会在产品表面进行镀膜处理，进行表面防护，镀膜时需要使用到靶材，靶材的种类很多，例如:用在建筑玻璃上的硅铝、氧化钛、锌锡、氧化铌等靶材，用在电子产品显示器上的高纯硅靶材，靶材生产过程中需要对其表面进行喷涂，现在国内喷涂设备都是在大气中直接进行喷涂，原材料表面易氧化，微量元素含量不可控，产品品质低，不能满足高端客户要求，噪音高，影响操作人员的身体健康，喷涂效率低，生产成本大，生产周期长，能耗高，原材料不回收，不能满足节能、环保的要求。
【发明内容】
[0003]本发明所要解决的技术问题是:提供一种喷涂效果好的靶材真空喷涂生产设备。
[0004]为了解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是:靶材真空喷涂生产设备，包括:机架、除尘回收装置和数控水冷却装置，在所述机架上设置有真空管，在所述真空管内设置有靶材基材和等离子喷枪，在所述的真空管上依次设置有涂层测厚仪、涂层测温仪、喷涂仓冷却水进口、氮气保护气体进口、负压气口、靶材表面冷却液氮进口和视觉监控口，所述的喷涂仓冷却水进口通过连接水管与所述的数控水冷却装置相连接，所述的负压气口通过负压管与所述的除尘回收装置相连接，所述靶材基材的一端通过接头与旋转轴的一端相连接，所述的旋转轴通过若干支撑辊轮支撑在所述机架上，在所述旋转轴内设置有U形冷却水管，所述U形冷却水管的U形端部深入到所述靶材基材的内部，所述U形冷却水管的另一端通过旋转接头分别两软管相连接，所述的U形冷却水管通过两软管所述数控水冷却装置相连接，所述旋转接头(通过连接块与移动链条相连接，所述的移动链条支撑在与其相互配合的主动链轮和从动链轮上，所述的主动链轮设置在移动驱动电机的转轴上，在所述旋转轴的中部外侧设置有旋转从动齿轮，在所述的机架上设置有旋转驱动电机，在所述旋转驱动电机的转轴上设置有与所述旋转从动齿轮相互配合的旋转主动齿轮。
[0005]本发明的优点是:上述靶材真空喷涂生产设备，在真空舱内进行喷涂，避免原材料表面氧化，喷涂时原材料物理性状更加稳定，微量元素含量可控，满足高端客户要求，提高产品品质，噪音低，保证操作人员的身体健康，喷涂面积大，生产成本低，喷涂效率高，生产周期短，是常规设备的五分之一到十分之一，节能、环保，原材料可以回收循环利用，密封循环冷却系统，水和热量不易损耗。
【专利附图】
【附图说明】
[0006]图1为本发明靶材真空喷涂生产设备的结构示意图。
[0007]图中:1、机架，2、除尘回收装置，3、数控水冷却装置，4、真空管，5、靶材基材，6、等离子喷枪，7、涂层测厚仪，8、涂层测温仪，9、喷涂仓冷却水进口，10、氮气保护气体进口，11、负压气口，12、靶材表面冷却液氮进口，13、视觉监控口，14、连接水管，15、负压管，16、接头，17、旋转轴，18、支撑辊轮，19、U形冷却水管，20、旋转接头，21、软管，22、连接块，23、移动链条，24、主动链轮，25、从动链轮，26、移动驱动电机，27、转轴，28、旋转从动齿轮，29、旋转驱动电机，30、转轴，31、旋转主动齿轮，32、涂层。
【具体实施方式】
[0008]下面结合附图和具体实施例详细描述一下本发明的具体内容。
[0009]如图1所示，靶材真空喷涂生产设备，包括:机架1、除尘回收装置2和数控水冷却装置3，在所述机架I上设置有真空管4，在所述真空管4内设置有靶材基材5和等离子喷枪6，在所述的真空管4上依次设置有涂层测厚仪7、涂层测温仪8、喷涂仓冷却水进口 9、氮气保护气体进口 10、负压气口 11、靶材表面冷却液氮进口 12和视觉监控口 13，所述的喷涂仓冷却水进口 9通过连接水管14与所述的数控水冷却装置3相连接，所述的负压气口 11通过负压管15与所述的除尘回收装置2相连接，所述靶材基材5的一端通过接头16与旋转轴17的一端相连接，所述的旋转轴17通过若干支撑辊轮18支撑在所述机架I上，在所述旋转轴17内设置有U形冷却水管19，所述U形冷却水管19的U形端部深入到所述靶材基材5的内部，所述U形冷却水管19的另一端通过旋转接头20分别两软管21相连接，所述的U形冷却水管19通过两软管21所述数控水冷却装置3相连接，所述旋转接头20通过连接块22与移动链条23相连接，所述的移动链条23支撑在与其相互配合的主动链轮24和从动链轮25上，所述的主动链轮设置在移动驱动电机26的转轴27上，在所述旋转轴17的中部外侧设置有旋转从动齿轮28，在所述的机架I上设置有旋转驱动电机29，在所述旋转驱动电机29的转轴30上设置有与所述旋转从动齿轮28相互配合的旋转主动齿轮31。
[0010]如图1所示，在工作过程中，所述的除尘回收装置2通过负压管15、负压气口 11对真空管4的内部进行真空吸附将废料进行回收；所述的数控水冷却装置3通过两软管21与U形冷却水管19相连接，对靶材基材5的内部进行冷却，数控水冷却装置3通过连接水管14与喷涂仓冷却水进口 9相连接对真空管4内的腔体进行冷却；设置在真空管4上的涂层测厚仪7可以对涂层32的厚度进行检测，涂层测温仪8可以对涂层32的温度进行检测，可以通过氮气保护气体进口 10向真空管4内的腔体通入氮气进行气体保护，可以通过靶材表面冷却液氮进口 12向真空管4内的腔体通入液氮进行冷却，视觉监控口 13用于观察真空管4内的喷涂情况。
[0011]上述靶材真空喷涂生产设备使用时，由等离子喷枪6进行喷涂在靶材基材5的表面形成涂层32，在喷涂过程中，在所述旋转驱动电机29通过转轴30、旋转主动齿轮31带动旋转从动齿轮28旋转，从而带动旋转轴17、接头16和靶材基材5旋转，移动驱动电机26通过转轴27、主动链轮24和从动链轮25旋转，从而使移动链条23通过连接块22带动旋转接头20、旋转轴17、接头16和靶材基材5进行移动，移动过程中，旋转轴17支撑在支撑辊轮18上在机架I上进行移动。
【权利要求】
1.靶材真空喷涂生产设备，其特征在于:包括:机架(I)、除尘回收装置(2)和数控水冷却装置(3 )，在所述机架(I)上设置有真空管(4 )，在所述真空管(4 )内设置有靶材基材(5 )和等离子喷枪(6)，在所述的真空管(4)上依次设置有涂层测厚仪(7)、涂层测温仪(8)、喷涂仓冷却水进口(9)、氮气保护气体进口(10)、负压气口(11)、靶材表面冷却液氮进口(12)和视觉监控口( 13)，所述的喷涂仓冷却水进口(9)通过连接水管(14)与所述的数控水冷却装置(3)相连接，所述的负压气口(11)通过负压管(15)与所述的除尘回收装置(2)相连接，所述祀材基材(5)的一端通过接头(16)与旋转轴(17)的一端相连接,所述的旋转轴(17)通过若干支撑辊轮(18 )支撑在所述机架(I)上，在所述旋转轴(17 )内设置有U形冷却水管(19)，所述U形冷却水管(19)的U形端部深入到所述靶材基材(5)的内部，所述U形冷却水管(19)的另一端通过旋转接头(20)分别两软管(21)相连接，所述的U形冷却水管(19)通过两软管(21)所述数控水冷却装置(3 )相连接，所述旋转接头(20 )通过连接块(22 )与移动链条(23)相连接，所述的移动链条(23)支撑在与其相互配合的主动链轮(24)和从动链轮(25)上，所述的主动链轮(24)设置在移动驱动电机(26)的转轴(27)上，在所述旋转轴(17)的中部外侧设置有旋转从动齿轮(28)，在所述的机架(I)上设置有旋转驱动电机(29)，在所述旋转驱动电机(29)的转轴(30)上设置有与所述旋转从动齿轮(28)相互配合的旋转主动齿轮(31)。
【文档编号】B05C13/02GK104174544SQ201410423362
【公开日】2014年12月3日 申请日期:2014年8月26日 优先权日:2014年8月26日
【发明者】陈芳, 施玉良 申请人:法柯特科技（江苏）有限公司