一种卷绕式真空镀膜机靶材靶芯的改进结构的制作方法

文档序号:15670752发布日期:2018-10-16 19:13阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种卷绕式真空镀膜机靶材靶芯的改进结构,所述靶芯包括靶头(1),所述靶头(1)上依次套设有轴套(2)、石墨碳环(3)、弹簧(4)和锁紧螺母(5),所述轴套(2)与石墨碳环(3)之间设有密封圈(8),所述锁紧螺母(5)与弹簧(4)之间设有垫环(6),其特征在于:所述靶头(1)的外侧面上设有定位槽(101),所述定位槽(101)位于垫环(6)和石墨碳环(3)的安装位上,并与靶头(1)的轴线平行设置,所述垫环(6)的内侧壁上设有与定位槽(101)相适配的垫环定位销(601)。

2.根据权利要求1所述的卷绕式真空镀膜机靶材靶芯的改进结构,其特征在于:所述定位槽(101)为长条状的方形槽或长条状的U形槽。

3.根据权利要求1所述的卷绕式真空镀膜机靶材靶芯的改进结构,其特征在于:所述垫环定位销(601)与垫环(6)为一体成型结构。

4.根据权利要求1所述的卷绕式真空镀膜机靶材靶芯的改进结构,其特征在于:所述靶头(1)套设有轴套(2)的一端上设有轴肩(102),中部设有与锁紧螺母(5)螺纹连接的外螺纹(103)。

5.根据权利要求4所述的卷绕式真空镀膜机靶材靶芯的改进结构,其特征在于:所述轴肩(102)与轴套(2)之间设有聚合物环(7)。

6.根据权利要求1所述的卷绕式真空镀膜机靶材靶芯的改进结构,其特征在于:所述石墨碳环(3)的内侧壁上设有碳环定位销(301),所述碳环定位销(301)与定位槽(101)相适配。

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