技术编号:15678488
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及陶瓷金属化工艺技术领域,具体涉及一种氮化铝陶瓷的金属化方法。背景技术氮化铝(AlN)陶瓷是一种有着广泛应用前景的新型陶瓷材料,具有高热导率(200~320W/(m·K)),可靠的电绝缘性(1013Ω·cm),低介电常数(8.7),低介电损耗(1×10-3)和高的机械性能(350MPa)等一系列优良特点,越来越多地应用在电真空器件领域。为了使氮化铝陶瓷能更广泛地用于电真空器件,往往需要进行氮化铝瓷与金属之间焊接。目前氮化铝陶瓷的金属化与封接方法有很多,包括活性封接法、化学镀法、厚膜法、薄...
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