光调制器的制作方法技术资料下载

技术编号:15738473

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本发明涉及光调制器,特别是涉及具备终端基板的光调制器。背景技术近年来,在高速/大容量光纤通信系统中,利用形成有光波导的基板的光调制器及装入有这样的光调制器的光发送装置被较多使用。其中,将具有电光效应的LiNbO3(称为“LN”)使用于基板的光调制器与InP、Si、GaAs等半导体系材料的调制器相比,广泛地使用于高速/大容量光纤通信系统。使用了该LN的光调制器形成有由将光封入于LN基板中并进行引导的光波导构成的马赫-曾德尔型光波导、向该调制部施加电场的电极。而且,电极包括基于从光调制器的外部输入的...
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