技术编号:15788772
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于光伏太阳能电池技术领域,具体涉及一种匹配链式扩散的清洗喷淋管。背景技术太阳能电池片制造的前制程为通常为清洗湿制程工序,包括制绒和刻蚀工序,作用主要是为了让硅片形成良好的表面特性及陷光结构,去除原始硅片表面附着的有机物等沾污,同时清楚自身制程中的化学残留,化学品和水与硅片接触的方式通常包括喷淋和浸泡,喷淋效果的好坏与喷淋管的设计直接相关。由于硅片厚度薄,若出现硅片卡碎等异常,碎片阻塞喷淋管则会严重影响喷淋的效果,造成硅片表面未洗净等制程不良;太阳能电池扩散通常分为管式扩散和链式扩散,...
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