一种匹配链式扩散的清洗喷淋管的制作方法

本实用新型属于光伏太阳能电池技术领域，具体涉及一种匹配链式扩散的清洗喷淋管。

背景技术：

太阳能电池片制造的前制程为通常为清洗湿制程工序，包括制绒和刻蚀工序，作用主要是为了让硅片形成良好的表面特性及陷光结构，去除原始硅片表面附着的有机物等沾污，同时清楚自身制程中的化学残留，化学品和水与硅片接触的方式通常包括喷淋和浸泡，喷淋效果的好坏与喷淋管的设计直接相关。

由于硅片厚度薄，若出现硅片卡碎等异常，碎片阻塞喷淋管则会严重影响喷淋的效果，造成硅片表面未洗净等制程不良；

太阳能电池扩散通常分为管式扩散和链式扩散，链式扩散通常形成的PN结较浅，方阻较低，还需要在刻蚀步骤中加入方阻提升步骤来保证表面死层被去除干净，提升表面方阻通常设置在刻蚀碱槽喷淋，利用碱腐蚀硅片表面，碱与硅片接触的时间与硅片腐蚀量近似成正比，也就是碱腐蚀时间越长，方阻提升越高，这就需要喷淋管在位置上有一定的可调性，硅片通常为多道生产，保证多道方阻近似即可，所以通常歪斜放置喷淋管或改变喷淋管喷淋角度即可实现，这就要求喷淋管长度要可以微调；同时调整喷淋角度后要具有一定的可固定性，不能随意滑动，但是现有的喷淋管还无法实现这些。

技术实现要素：

发明目的：为了克服现有技术中存在的不足，提供一种用于将功能药液或水喷淋至硅片表面的匹配链式扩散的清洗喷淋管。

技术方案：为实现上述目的，本实用新型提供一种匹配链式扩散的清洗喷淋管，包括管体、分别位于管体两端的两个管头以及分别用于固定住两个管头的两个卡托，所述管体的上端设置有至少1个进液口，所述管体的下端设置有至少2排喷淋口，所述管头的头部表面设置有第一卡齿，所述卡托的顶部设置有用于支撑住管头的固定槽，所述固定槽的槽面上设置有与第一卡齿相吻合的第二卡齿。

本实用新型的设计原理为：通过转动管头能够迅速调整喷淋口的喷淋方向，利用第一卡齿和第二卡齿相互吻合的设计，使得管头被转动后第一卡齿和第二卡齿保持吻合，确保了管体和管头的高稳定性，从而实现了喷淋管的喷淋方向可调以及调整喷淋角度后喷淋管的可固定性。

进一步地，所述管头上设置有与第一卡齿相配合的旋齿用于转动管体和管头，旋齿的设置有利于更加方便、轻松、稳定的转动管头。

进一步地，所述管头内部设置有向外突出的橡胶塞，通过将橡胶塞旋紧在管头内，使得管头处具备高密封性，保证不会出现漏液。

进一步地，所述固定槽的一侧设置有用于加固管头的螺丝，如果对于管头的稳定性要求更高时，可以通过拧紧螺丝，通过螺丝顶住管头进行加固。

进一步地，所述卡托的底部设置有用于连接机台的卡槽的连接槽，通过将连接槽插接在卡槽内，实现了将卡托和管体固定连接在机台上，这样可通过调整卡槽在机台上的安装位置快速调整硅片与药液接触的时间，一定范围内有效控制反应程度。

有益效果：本实用新型与现有技术相比，具备如下优点：

1、通过转动管头能够迅速调整喷淋口的喷淋方向，从而实现了喷淋管的喷淋方向可调以及调整喷淋角度后喷淋管的可固定性，使得喷淋管能够更好的适应不同硅片喷淋工艺的喷淋要求，为刻蚀提升方阻提供一个方便快捷且较稳定的手段；

2、两排以上的喷淋口的设计，可有效减少管道堵塞、不喷的现象，同时保证喷淋水压；

3、管头通过橡胶塞密封，不但保证不会出现漏液，而且取出橡胶塞后，可利用柱状清洗装置就可以直接清理管内碎片。

附图说明

图1为本实用新型的俯视图；

图2为本实用新型的仰视图；

图3为管体的俯视示意图；

图4为管体的仰视示意图；

图5为旋齿在管头上的示意图；

图6为橡胶塞在管头内的示意图；

图7为卡托的结构示意图；

图8为卡托和管头的连接示意图；

图9为卡槽的结构示意图；

图10为卡托和卡槽的连接示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例，进一步阐明本实用新型，应理解这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围，在阅读了本实用新型之后，本领域技术人员对本实用新型的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。

如图1～图5、图7～图10所示，本实用新型提供一种匹配链式扩散的清洗喷淋管，包括管体1、分别位于管体1两端的两个管头3以及分别用于固定住两个管头的两个卡托4，所述管体1的上端设置有两个进液口11，所述管体1的下端设置有两排喷淋口12，所述管头3的头部表面设置有第一卡齿31，所述卡托4的顶部设置有用于支撑住管头3的固定槽41，所述固定槽41的槽面上设置有与第一卡齿31相吻合的第二卡齿42，所述管头3上设置有与第一卡齿31相配合的旋齿2用于转动管体1和管头3，所述固定槽41的一侧设置有用于加固管头3的螺丝43，所述卡托4的底部设置有用于连接机台的卡槽6的连接槽44。

本实用新型使用流程为：首先将两个管头3分别放置于两个卡托4的固定槽41内，并且使得第一卡齿31和第二卡齿42相吻合，根据硅片喷淋的工艺要求，通过旋齿2转动管头3调整管体1上喷淋口12的喷淋方向，由于第一卡齿31和第二卡齿42的作用，使得管体1在调整后能够保持稳定，然后将两个卡托4的连接槽44分别和机台上的两个卡槽6相插接，使得管体1固定在机台上，功能药液从进液口11进入到管体1通过喷淋口12喷淋在经过机台的硅片上。

如图8所示，当管头3的稳定性不符合要求时，可拧紧螺丝43，螺丝43顶住管头3进行加固。

如图6所示，当管体1内出现堵塞需要清理时，可拔出两个橡胶塞13，利用柱状清洗装置直接清理掉管体1内的碎片等。

因为卡托4是通过机台上的卡槽6将管体1固定在机台上，可通过调整卡槽6在机台上的安装位置，来调整管体1在机台上的具体位置，从而达到调整硅片与药液接触的时间，一定范围内有效控制反应程度的效果。