技术总结
本实用新型公开了一种匹配链式扩散的清洗喷淋管，包括管体、分别位于管体两端的两个管头以及分别用于固定住两个管头的两个卡托，所述管体的上端设置有至少1个进液口，所述管体的下端设置有至少2排喷淋口，所述管头的头部表面设置有第一卡齿，所述卡托的顶部设置有用于支撑住管头的固定槽，所述固定槽的槽面上设置有与第一卡齿相吻合的第二卡齿。本实用新型通过转动管头能够迅速调整喷淋口的喷淋方向，从而实现了喷淋管的喷淋方向可调以及调整喷淋角度后喷淋管的可固定性，使得喷淋管能够更好的适应不同硅片喷淋工艺的喷淋要求，为刻蚀提升方阻提供一个方便快捷且较稳定的手段。
技术研发人员：顾君;耿刘勇;邹春梅;范琼
受保护的技术使用者：无锡德鑫太阳能电力有限公司
技术研发日：2018.04.09
技术公布日：2018.10.30