技术编号：15838559
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于固体表面纳米结构的制作技术领域，具体涉及一种利用离子轰击技术，在熔石英表面诱导制备具有锯齿轮廓，即类闪耀光栅结构的自组织纳米结构的纳米制备方法。背景技术近年来，通过离子轰击产生纳米结构的新技术逐渐引起科研界的关注。该技术利用离子轰击材料表面所产生的粗糙和平滑等效应，使表面自发地形成一定的纳米结构，是一种简单、经济、大面积地制造准周期纳米结构的新思路。该技术获得的自组织纳米结构存在诸多优点：一、加工材料种类多，可在绝缘体、半导体、金属、非金属等多种材料上产生纳米结构；二、纳米结构横向特征...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。