无需光刻步骤的肖特基芯片制造方法及肖特基芯片与流程技术资料下载

技术编号:15838564

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无需光刻步骤的肖特基芯片制造方法及肖特基芯片,属于半导体制造技术领域。背景技术近年来由于肖特基势垒二极管(Schottky Barrier Diode,简称SBD)的低导通压降和极短的反向恢复时间对电路系统效率提高引起了人们高度重视并应用广泛。SBD有三个特点较为突出:(1)因为肖特基势垒高度小于PN结势垒高度,SBD的开启电压和导通压降均比PIN二极管小,可以降低电路中的功率损耗到较低水平;(2)SBD的结电容较低,它的工作频率高达100GHz;(3)SBD是不存在少数载流子的注入,因此开关速...
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