技术编号:15883274
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及溅射用靶材及其制造方法,进一步地,本发明涉及使用该溅射用靶材的溅射靶,特别是涉及将该溅射用靶材作为分割靶材使用的连接溅射靶及其制造方法。背景技术通常,透明导电膜具有高导电性和在可见光区域的高透过率。因此,一直以来作为太阳能电池、液晶显示元件和其他光接收元件的透明电极而被使用。另外,也作为汽车车窗、建筑用热反射膜、防静电膜、冷冻陈列柜等的防雾用透明发热体而被使用。在这些用途中,使用了由含有锑、氟作为掺杂剂的氧化锡、含有铝、镓作为掺杂剂的氧化锌、或者含有锡作为掺杂剂的氧化铟(Indium ...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。