技术编号:15973013
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光电子信息技术领域,涉及一种光探测器,尤其涉及一种超短沟道金属-半导体-金属型光探测器及其制作方法。背景技术光电探测器的原理是由辐射引起被照射材料电导率发生改变。根据可探测光波段的不同,光探测器可分为紫外光探测器、可见光探测器以及红外光探测器。紫外光探测器主要用于导弹预警及制导、紫外通讯、臭氧监测、明火探测、生物医药分析等方面,可见近红外光探测器主要用于射线测量和探测、工业自动控制、光度计量等方面,红外光探测器主要用于红外遥感和红外热成像等方面。光探测器在军事和国民经济的各个领域有广泛...
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