技术编号：16052299
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及发光元件的制造方法，尤其涉及发出紫外光的发光元件的制造方法。背景技术近年来，输出蓝色光的发光二极管或激光二极管等半导体发光元件已实用化，并且输出波长较短的深紫外光的发光元件的开发也正在推进。由于深紫外光具有较高的杀菌能力，所以能输出深紫外光的半导体发光元件作为医疗或食品加工现场中的无水银的杀菌用光源而受到关注。这样的深紫外光用的发光元件例如是通过在蓝宝石基板等基板上依次层叠氮化镓铝(AlGaN)系的n型半导体层、活性层、p型半导体层而形成的。活性层所发出的深紫外光通过蓝宝石基板中的与层...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。