技术编号:16125023
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光学测量工程的技术领域,具体涉及一种基于光镊介质微球的超分辨三维形貌测量方法。背景技术微纳器件利用微米、甚至纳米量级的特征结构,能够突破传统宏观结构在功能以及性能上的局限,是国际研究前沿及热点。微纳器件研究水平,已成为衡量一个国家科技水平的重要标志。微纳器件的研究过程,离不开精密面形检测。面形作为设计阶段的最终输出,通过对其进行检测,不仅能够检测器件加工质量,确保加工满足设计要求。更为重要的是,通过对面形进行高精度检测,结合器件性能测试结果,能够建立结构特征与其功能及性能之间的直接联系...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。