技术编号:16139101
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及自动化领域,尤其涉及一种CIGS玻璃基板的清洗领域,具体是指一种CIGS玻璃基板镀膜清洗系统。背景技术目前学术界和产业界普遍认为太阳能电池的发展已进入了以薄膜太阳能电池为主第三代,铜铟镓硒薄膜太阳能电池(CIGS)是20世纪80年代后期开发出来的新型太阳能电池,它作为多元化合物薄膜电池的重要一员,凭借优越的综合性能成为全球光伏领域的研究热点之一。CIGS典型的多层膜结构包括金属栅、减反射膜、窗口层(ZnO)、过渡层、光吸收层、背电极和玻璃基板。在制备过程中,CIGS薄膜一般是在镀有Mo...
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